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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 紫外光刻掩膜板
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xiaowenzi2

铁杆木虫 (小有名气)

[求助] 紫外光刻掩膜板 已有1人参与

如题，有哪位懂的麻烦讲下紫外光刻掩膜板的要求，以及可以用作掩膜板的光学材料种类。
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1楼 2012-04-18 16:46:17
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xiaowenzi2

铁杆木虫 (小有名气)
谢谢参与哦，镀铬的是振幅型的，我现想了解下什么材料可以做相位型的
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4楼2012-04-18 22:50:06
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xiaowenzi2

铁杆木虫 (小有名气)
补充:是用于紫外光刻的相位掩膜板
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2楼2012-04-18 16:56:23
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lulinsmann

木虫 (著名写手)

三无小小鸟

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
xiaowenzi2: 金币+1 2012-04-18 22:50:31
不是太懂，不过一般的光刻掩膜似乎都是玻璃上镀铬的
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江湖背影
3楼2012-04-18 19:14:18
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fznm1234

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
xiaowenzi2: 金币+2, 谢谢参与 2012-04-20 16:36:43
光刻线条尺度与波长有关，波长越短，能刻的线条就越细。我们实验室里用的是汞灯，波长在300——436nm，所以光刻线条在3——4um，最细可达2um，具体材料不详，都是南京55所做的，你找下相关的书吧
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再不疯狂，我们就老了
5楼2012-04-20 09:38:54
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