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掩膜板精度固定方法
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大神们 我想把掩膜板贴到coms图像传感器上面（掩膜板的“点”与CMOS传感器的像素点一一对应起来），求好的方法？ 谢谢 |
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5楼2013-05-09 20:39:59
yswyx 
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【答案】应助回帖
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hufei_012: 金币+5, ★★★★★最佳答案 2013-05-09 10:13:30
kunpeng1782: 金币+3, MN-EPI+1, 专家考核, 谢谢您的解答 2013-05-09 19:17:02
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kunpeng1782: 金币+3, MN-EPI+1, 专家考核, 谢谢您的解答 2013-05-09 19:17:02
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几乎不可能。 image sensor上是有color filter和micro lens的，是不能破坏和触碰的，如果掩模版上的点想和它对应，垂直方向上会有至少10～20um的距离。我猜你是想做自己的color filter，那么这个10～20um的距离，非常致命，你的滤光效率极差。 对准本身，也存在极大的困难。CIS的像素尺寸一般到1个多um了，而现有对准键合方法，也是这个精度水平。所以只能是碰运气了。 这里面有几个前提条件： 1. CIS的像素很大 2. CIS是黑白的，而且没有micro lens 3. 极其洁净的环境，保证粘贴过程中不被沾污。 你要做的东西，要花不少钱。老外做四色filter的CIS，都是在产线上做的。 |
2楼2013-05-08 18:05:36
3楼2013-05-09 09:24:03
yswyx
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4楼2013-05-09 15:12:18