小木虫

当前位置：首页 > 微米纳米 >CVD热解乙炔沉积碳

CVD热解乙炔沉积碳

作者 cqzcqz: 来源: 小木虫 850 17 举报帖子

大家好，想请教各位大神，如果用管式炉900度热解乙炔来沉积碳，有什么要注意的事项？用纯的乙炔气体有危险吗？
本人CVD小白，第一次做，怕爆炸啊，求大神们指教。
具体的问题还有：
管式炉、流量计和分压阀有没有什么特别的要求？用一般的就可以，还是要特制的？用如图所示管式炉行不行？
出气端出来的残余乙炔气如何收集？需要在通风橱中进行么？

111.jpg 返回小木虫查看更多

今日热帖

精华评论

翰军

一般采用的是1200的炉子，管道的密封一定要做好，这种炉子的建议使用温度1000度以上，温度比较准确！
triplebeer

1，要保证你的系统不漏气，比如可以用泵抽真空，然后在封闭状态下检测是否漏气。
2，可以用惰性气体比如氩气稀释。
3，热解乙炔用不了900度那么高吧。
cqzcqz

引用回帖:
3楼: Originally posted by triplebeer at 2016-10-09 23:55:29
1，要保证你的系统不漏气，比如可以用泵抽真空，然后在封闭状态下检测是否漏气。
2，可以用惰性气体比如氩气稀释。
3，热解乙炔用不了900度那么高吧。

谢谢，那如果用氩气和乙炔气混合的话，比例多少比较合适呢
，
triplebeer

引用回帖:
4楼: Originally posted by cqzcqz at 2016-10-11 14:46:20
谢谢，那如果用氩气和乙炔气混合的话，比例多少比较合适呢？...

一般没有固定的比例
担心安全的话就让氩气占大部分
可以根据实验结果好坏调整比例
cqzcqz

引用回帖:
5楼: Originally posted by triplebeer at 2016-10-11 15:15:43
一般没有固定的比例
担心安全的话就让氩气占大部分
可以根据实验结果好坏调整比例...

好的，十分感谢
guoqianyi

请问你不用气流计那些也能精确沉淀？
plqIMR

650度就够了吧！900太高了