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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 请教下正性光刻胶接触式曝光时出现的undercut现象如何减弱和有效避免
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babyoflion

金虫 (著名写手)

[求助] 请教下正性光刻胶接触式曝光时出现的undercut现象如何减弱和有效避免已有1人参与

如下图所示，在激光直写时可以获得比较好的结构剖面，但是接触式曝光时就会出现很丑的弧形剖面，undercut现象非常明显，有老师有这方面的优化经历的么？  不吝赐教 新年大吉大利！

请教下正性光刻胶接触式曝光时出现的undercut现象如何减弱和有效避免
undercut现象.jpg


请教下正性光刻胶接触式曝光时出现的undercut现象如何减弱和有效避免-1
标准.png
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1楼2018-02-25 09:50:24
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心如

新虫 (初入文坛)
插眼

发自小木虫IOS客户端
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2楼2018-02-25 23:55:24
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 心如 at 2018-02-25 23:55:24
插眼

插眼? 跳大？
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3楼2018-02-26 13:29:00
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心如

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by babyoflion at 2018-02-26 13:29:00
插眼? 跳大？

不跳

发自小木虫IOS客户端
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4楼2018-02-26 21:42:49
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ZeDing

新虫 (小有名气)
接触式没用过 步进式的 应该是focus或dof不对 可以看看是不是有帮助

发自小木虫IOS客户端
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如果你就是你，那静静微笑，沉默不语……
5楼2018-03-04 13:29:39
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jj503185037

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

什么胶？ 软烤够吗？注意曝光计量和显影时间。
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6楼2018-03-04 18:46:06
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by ZeDing at 2018-03-04 13:29:39
接触式没用过 步进式的 应该是focus或dof不对 可以看看是不是有帮助

好的谢谢，用的接触式的 米有步进式光刻进 步进式应该好些 非接触式好像都好些
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7楼2018-03-07 14:36:05
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babyoflion

金虫 (著名写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by jj503185037 at 2018-03-04 18:46:06
什么胶？ 软烤够吗？注意曝光计量和显影时间。

软烤足够的，很多AZ和EPG的
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8楼2018-03-07 14:36:31
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潮打空城YL

新虫 (初入文坛)
楼主，最后这个问题有解决嘛？我也遇到同样问题，接触式有表层有undercut。

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9楼2022-07-13 12:34:01
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babyoflion

金虫 (著名写手)
接触式曝光基本很难避免

发自小木虫Android客户端
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10楼2022-07-13 18:05:35
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