| 查看: 3160 | 回复: 10 | ||
| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者babyoflion将赠送您 20 个金币 | ||
babyoflion金虫 (著名写手)
|
[求助]
请教下正性光刻胶接触式曝光时出现的undercut现象如何减弱和有效避免已有1人参与
|
|
如下图所示，在激光直写时可以获得比较好的结构剖面，但是接触式曝光时就会出现很丑的弧形剖面，undercut现象非常明显，有老师有这方面的优化经历的么？ 不吝赐教 新年大吉大利！ undercut现象.jpg  标准.png |
回复此楼» 猜你喜欢
为什么以PAA为模版的中空硅球冬天室温搅拌凝胶了
已经有1人回复
-
复现一篇在PDMS上生长金纳米线做SERS的文章，主要是配置生长液的问题，求助
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有218人回复
-
水热法合成二氧化钛大小不均匀
已经有0人回复
-
教材推荐
已经有1人回复
-
真空或者惰性气体下破碎合金成毫米级设备？
已经有2人回复
-
考博求助
已经有4人回复
2楼2018-02-25 23:55:24
babyoflion
金虫 (著名写手)
- 应助: 183 (高中生)
- 金币: 4731.5
- 散金: 201
- 红花: 30
- 帖子: 2473
- 在线: 671.8小时
- 虫号: 2297725
- 注册: 2013-02-25
- 性别: GG
- 专业: 光学
3楼2018-02-26 13:29:00
4楼2018-02-26 21:42:49
5楼2018-03-04 13:29:39
jj503185037 
捐助贵宾 (小有名气)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 974.6
- 散金: 53
- 红花: 1
- 帖子: 190
- 在线: 28.3小时
- 虫号: 2167161
- 注册: 2012-12-05
- 性别: MM
- 专业: 半导体光电子器件
6楼2018-03-04 18:46:06
babyoflion
金虫 (著名写手)
- 应助: 183 (高中生)
- 金币: 4731.5
- 散金: 201
- 红花: 30
- 帖子: 2473
- 在线: 671.8小时
- 虫号: 2297725
- 注册: 2013-02-25
- 性别: GG
- 专业: 光学
7楼2018-03-07 14:36:05
babyoflion
金虫 (著名写手)
- 应助: 183 (高中生)
- 金币: 4731.5
- 散金: 201
- 红花: 30
- 帖子: 2473
- 在线: 671.8小时
- 虫号: 2297725
- 注册: 2013-02-25
- 性别: GG
- 专业: 光学
8楼2018-03-07 14:36:31
9楼2022-07-13 12:34:01
babyoflion
金虫 (著名写手)
- 应助: 183 (高中生)
- 金币: 4731.5
- 散金: 201
- 红花: 30
- 帖子: 2473
- 在线: 671.8小时
- 虫号: 2297725
- 注册: 2013-02-25
- 性别: GG
- 专业: 光学
10楼2022-07-13 18:05:35
5