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cqzcqz

金虫 (正式写手)

[求助] CVD热解乙炔沉积碳 已有2人参与

大家好,想请教各位大神,如果用管式炉900度热解乙炔来沉积碳,有什么要注意的事项?用纯的乙炔气体有危险吗?
本人CVD小白,第一次做,怕爆炸啊,求大神们指教。
具体的问题还有:
管式炉、流量计和分压阀有没有什么特别的要求?用一般的就可以,还是要特制的?用如图所示管式炉行不行?
出气端出来的残余乙炔气如何收集?需要在通风橱中进行么?

CVD热解乙炔沉积碳
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为梦想而战
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cqzcqz

金虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by triplebeer at 2016-10-09 23:55:29
1,要保证你的系统不漏气,比如可以用泵抽真空,然后在封闭状态下检测是否漏气。
2,可以用惰性气体比如氩气稀释。
3,热解乙炔用不了900度那么高吧。

谢谢,那如果用氩气和乙炔气混合的话,比例多少比较合适呢?
为梦想而战
4楼2016-10-11 14:46:20
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查看全部 18 个回答

翰军

银虫 (知名作家)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
一般采用的是1200的炉子,管道的密封一定要做好,这种炉子的建议使用温度1000度以上,温度比较准确!
2楼2016-10-09 17:18:53
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triplebeer

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

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感谢参与,应助指数 +1
cqzcqz: 金币+50, ★★★很有帮助 2016-10-11 14:45:06
1,要保证你的系统不漏气,比如可以用泵抽真空,然后在封闭状态下检测是否漏气。
2,可以用惰性气体比如氩气稀释。
3,热解乙炔用不了900度那么高吧。
3楼2016-10-09 23:55:29
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triplebeer

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by cqzcqz at 2016-10-11 14:46:20
谢谢,那如果用氩气和乙炔气混合的话,比例多少比较合适呢?...

一般没有固定的比例
担心安全的话就让氩气占大部分
可以根据实验结果好坏调整比例
5楼2016-10-11 15:15:43
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