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1142211017

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射+快速热退火=纳米颗粒的原理 已有1人参与

想清楚磁控溅射+快速热退火处理得到纳米颗粒的原理，求帮助介绍讲解相关原理的书籍
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不要做让自己看不起的事情
1楼 2015-04-27 08:41:08
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1142211017

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2015-04-27 10:46:02
刚刚镀的薄膜应该有应力存在的，快速热退火的加热和冷却使得热应力又叠加了上去，超过了薄膜的断裂极限应力，导致薄膜发生碎裂。薄膜的碎片由于比表面积大，自由能高，在温度的辅助下还会使自身不同程度地发生球化， ...

嗯嗯，谢谢大神的帮助，请问有相关书籍推荐吗，想了解详细的过程
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不要做让自己看不起的事情
3楼2015-04-27 15:56:40
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
1142211017: 金币+5, ★有帮助, 谢谢帮助 2015-04-27 22:42:59
刚刚镀的薄膜应该有应力存在的，快速热退火的加热和冷却使得热应力又叠加了上去，超过了薄膜的断裂极限应力，导致薄膜发生碎裂。薄膜的碎片由于比表面积大，自由能高，在温度的辅助下还会使自身不同程度地发生球化，演变成了纳米颗粒。
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2楼2015-04-27 10:46:02
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
3楼: Originally posted by 1142211017 at 2015-04-27 15:56:40
嗯嗯，谢谢大神的帮助，请问有相关书籍推荐吗，想了解详细的过程...

这只是本人的分析和猜测。
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4楼2015-04-27 16:34:07
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1142211017

金虫 (小有名气)
嗯嗯，好的，谢了
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不要做让自己看不起的事情
5楼2015-04-27 22:31:21
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