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1142211017

金虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射+快速热退火=纳米颗粒的原理 已有1人参与

想清楚磁控溅射+快速热退火处理得到纳米颗粒的原理,求帮助介绍讲解相关原理的书籍
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不要做让自己看不起的事情
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1142211017

金虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2015-04-27 10:46:02
刚刚镀的薄膜应该有应力存在的,快速热退火的加热和冷却使得热应力又叠加了上去,超过了薄膜的断裂极限应力,导致薄膜发生碎裂。薄膜的碎片由于比表面积大,自由能高,在温度的辅助下还会使自身不同程度地发生球化, ...

嗯嗯,谢谢大神的帮助,请问有相关书籍推荐吗,想了解详细的过程
不要做让自己看不起的事情
3楼2015-04-27 15:56:40
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
1142211017: 金币+5, ★有帮助, 谢谢帮助 2015-04-27 22:42:59
刚刚镀的薄膜应该有应力存在的,快速热退火的加热和冷却使得热应力又叠加了上去,超过了薄膜的断裂极限应力,导致薄膜发生碎裂。薄膜的碎片由于比表面积大,自由能高,在温度的辅助下还会使自身不同程度地发生球化,演变成了纳米颗粒。
2楼2015-04-27 10:46:02
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


引用回帖:
3楼: Originally posted by 1142211017 at 2015-04-27 15:56:40
嗯嗯,谢谢大神的帮助,请问有相关书籍推荐吗,想了解详细的过程...

这只是本人的分析和猜测。
4楼2015-04-27 16:34:07
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1142211017

金虫 (小有名气)

嗯嗯,好的,谢了
不要做让自己看不起的事情
5楼2015-04-27 22:31:21
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