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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 如何用磁控溅射镀制氧化镍薄膜
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安平勒

铜虫 (小有名气)

[求助] 如何用磁控溅射镀制氧化镍薄膜

本人打算镀制氧化镍基电致变色材料，但是问题如下：
     由于镍具有铁磁性，但是见文献中有很多用磁控溅射镀制的，这是不是对设备有着更高的要求？如果这样那么如何用普通磁控溅射仪镀制氧化镍薄膜呢？
     采用氧化镍陶瓷应该也是不能消磁吧？
     另外采用镍合金靶材的方法，能否消磁？如有一篇文献中采用镍（93%）-钒（7%）的合金作靶材，那么合金的话掺多少可以消磁，如果掺铝、掺镁、掺钨至少掺多少可以消磁呢？
    请各位多多指教啊，拜托了。
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1楼 2015-03-31 15:13:48
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flielie

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wanghuaxing at 2015-03-31 19:33:00
我们一直在用磁控溅射镀镍及氧化镍

你们有做过磁控溅射镍铁合金薄膜吗？你们有做过磁控溅射镍铁合金薄膜吗？
赞一下 回复此楼
3楼2015-04-28 11:11:46
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wanghuaxing

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
2楼2015-03-31 19:33:00
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wanghuaxing

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
4楼2015-04-28 21:03:17
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weid

银虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wanghuaxing at 2015-03-31 19:33:00
我们一直在用磁控溅射镀镍及氧化镍

您好，我想问下你们磁控溅射镀氧化镍的温度是多少
赞一下 回复此楼
that's me,a boy,who love the world,love everything.
5楼2016-12-01 20:49:17
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