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安平勒铜虫 (小有名气)
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如何用磁控溅射镀制氧化镍薄膜
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本人打算镀制氧化镍基电致变色材料，但是问题如下： 由于镍具有铁磁性，但是见文献中有很多用磁控溅射镀制的，这是不是对设备有着更高的要求？如果这样那么如何用普通磁控溅射仪镀制氧化镍薄膜呢？ 采用氧化镍陶瓷应该也是不能消磁吧？ 另外采用镍合金靶材的方法，能否消磁？如有一篇文献中采用镍（93%）-钒（7%）的合金作靶材，那么合金的话掺多少可以消磁，如果掺铝、掺镁、掺钨至少掺多少可以消磁呢？ 请各位多多指教啊，拜托了。 |
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wanghuaxing
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