|
|
[求助]
磁控溅射镀氧化钛薄膜不结晶 已有1人参与
|
靶材为纯金属钛靶，没有加热玻璃基片，用射频溅射的参数是：功率220W，时间2小时，氧气2sccm，氩气40sccm，压强0.6pa，600℃退火1小时，靶间距8cm，xrd结果是非晶态的，换用直流溅射时在450℃退火1小时，其他参数都一样，xrd结果仍然是非晶态的，但玻璃表面可以看到有膜，为什么没有结晶呢？想请虫友帮忙解答一下。 |
» 收录本帖的淘帖专辑推荐
» 猜你喜欢
售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急
已经有3人回复
-
售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急
已经有3人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急
已经有3人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急
已经有3人回复
-
售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急
已经有3人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急
已经有5人回复
-
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急
已经有3人回复
-
售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急
已经有3人回复
-
售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急
已经有4人回复
-
浙江师范大学是怎么坑我的
已经有5人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
|
回复此楼
