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ykelikelie

木虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射镀氧化钛薄膜不结晶 已有1人参与

靶材为纯金属钛靶,没有加热玻璃基片,用射频溅射的参数是:功率220W,时间2小时,氧气2sccm,氩气40sccm,压强0.6pa,600℃退火1小时,靶间距8cm,xrd结果是非晶态的,换用直流溅射时在450℃退火1小时,其他参数都一样,xrd结果仍然是非晶态的,但玻璃表面可以看到有膜,为什么没有结晶呢?想请虫友帮忙解答一下。
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ykelikelie

木虫 (正式写手)

刚看到xrd结果,还是有结晶峰的,帖子结了吧。
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2楼2015-03-25 18:20:41
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dwysd

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
ykelikelie(ivansdk代发): 金币+5 2015-03-26 09:43:14
首先要确定薄膜厚度,如果太薄了,是不行的。
3楼2015-03-25 21:15:37
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xsz2013

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by ykelikelie at 2015-03-25 18:20:41
刚看到xrd结果,还是有结晶峰的,帖子结了吧。

请问为什么突然就有结晶峰了呢?之前自己观测手段的问题?膜厚多大呢?谢谢
4楼2015-03-26 15:37:54
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ykelikelie

木虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by xsz2013 at 2015-03-26 15:37:54
请问为什么突然就有结晶峰了呢?之前自己观测手段的问题?膜厚多大呢?谢谢...

别人没看仔细,告诉我说没有峰,其实是有的~

[ 发自小木虫客户端 ]
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5楼2015-03-26 21:40:06
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1-maker

木虫 (小有名气)

请问下那个膜的结晶性不好,怎么控制
6楼2015-11-12 10:36:43
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