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ykelikelie木虫 (正式写手)
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磁控溅射镀氧化钛薄膜不结晶 已有1人参与
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| 靶材为纯金属钛靶，没有加热玻璃基片，用射频溅射的参数是：功率220W，时间2小时，氧气2sccm，氩气40sccm，压强0.6pa，600℃退火1小时，靶间距8cm，xrd结果是非晶态的，换用直流溅射时在450℃退火1小时，其他参数都一样，xrd结果仍然是非晶态的，但玻璃表面可以看到有膜，为什么没有结晶呢？想请虫友帮忙解答一下。 |
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 薄膜制备与特性 |
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