| 查看: 1263 | 回复: 5 | |||
ykelikelie木虫 (正式写手)
|
[求助]
磁控溅射镀氧化钛薄膜不结晶 已有1人参与
|
| 靶材为纯金属钛靶，没有加热玻璃基片，用射频溅射的参数是：功率220W，时间2小时，氧气2sccm，氩气40sccm，压强0.6pa，600℃退火1小时，靶间距8cm，xrd结果是非晶态的，换用直流溅射时在450℃退火1小时，其他参数都一样，xrd结果仍然是非晶态的，但玻璃表面可以看到有膜，为什么没有结晶呢？想请虫友帮忙解答一下。 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
回收溶剂求助
已经有7人回复
-
职称评审没过，求安慰
已经有40人回复
-
硝基苯如何除去
已经有3人回复
-
A期刊撤稿
已经有4人回复
-
垃圾破二本职称评审标准
已经有17人回复
-
投稿Elsevier的Neoplasia杂志，到最后选publishing options时页面空白，不能完成投稿
已经有22人回复
-
申请26博士
已经有5人回复
-
EST投稿状态问题
已经有7人回复
-
毕业后当辅导员了，天天各种学生超烦
已经有4人回复
-
求助文献
已经有3人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射氮化硅薄膜？
已经有7人回复
- 求教磁控溅射镀铝膜发黑的问题
已经有16人回复
- 急问：磁控溅射生长NiO薄膜，测不出XRD？ 多谢！
已经有16人回复
- 反应磁控溅射为什么不属于化学气相沉积法呢？
已经有3人回复
- 磁控溅射镀金属膜，SEM可以看到晶粒大小吗，还是用AFM？
已经有24人回复
- 磁控溅射镀碳膜没有镀上去
已经有12人回复
- 磁控溅射ZnO薄膜电阻太大
已经有19人回复
- 关于磁控溅射镀膜设备的问题
已经有4人回复
- 磁控溅射镀膜 TiN氮化钛
已经有20人回复
- 在有机物薄膜上磁控溅射金属电极的问题
已经有5人回复
- 磁控溅射再玻璃衬底上制备薄膜为什么做XRD测试时候测不出相应的峰呢？
已经有32人回复
- 磁控溅射镀不上去膜！！
已经有14人回复
- 直流脉冲磁控溅射镀硅膜阳极掉渣严重
已经有17人回复
- 进行磁控溅射时，如果不用外部加热器，基体温度为多少
已经有19人回复
- 磁控溅射能起辉，但不能沉积
已经有21人回复
- 磁控溅射做薄膜失败了吗
已经有21人回复
- 磁控溅射镀ZnO，大家真空度一般抽到多少？
已经有18人回复
- 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
已经有42人回复
- 我用磁控溅射镀的硼膜，是这个样子的，请问高手们是什么原因，该怎么办？
已经有9人回复
- 电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜所得薄膜有什么区别？
已经有17人回复
- 磁控溅射镀氧化铝
已经有35人回复
ykelikelie
木虫 (正式写手)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 2042.5
- 散金: 116
- 红花: 14
- 沙发: 1
- 帖子: 665
- 在线: 181.1小时
- 虫号: 2117005
- 注册: 2012-11-09
- 性别: GG
- 专业: 数论
2楼2015-03-25 18:20:41
dwysd
木虫 (著名写手)
- 应助: 66 (初中生)
- 金币: 3067.2
- 散金: 310
- 红花: 8
- 帖子: 1975
- 在线: 589.2小时
- 虫号: 538838
- 注册: 2008-04-03
- 专业: 半导体材料
3楼2015-03-25 21:15:37
4楼2015-03-26 15:37:54
ykelikelie
木虫 (正式写手)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 2042.5
- 散金: 116
- 红花: 14
- 沙发: 1
- 帖子: 665
- 在线: 181.1小时
- 虫号: 2117005
- 注册: 2012-11-09
- 性别: GG
- 专业: 数论
5楼2015-03-26 21:40:06
6楼2015-11-12 10:36:43