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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射镀氧化钛薄膜不结晶
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ykelikelie

木虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射镀氧化钛薄膜不结晶已有1人参与

靶材为纯金属钛靶，没有加热玻璃基片，用射频溅射的参数是：功率220W，时间2小时，氧气2sccm，氩气40sccm，压强0.6pa，600℃退火1小时，靶间距8cm，xrd结果是非晶态的，换用直流溅射时在450℃退火1小时，其他参数都一样，xrd结果仍然是非晶态的，但玻璃表面可以看到有膜，为什么没有结晶呢？想请虫友帮忙解答一下。
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1楼2015-03-25 17:06:15
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1-maker

木虫 (小有名气)
请问下那个膜的结晶性不好，怎么控制
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6楼2015-11-12 10:36:43
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ykelikelie

木虫 (正式写手)
刚看到xrd结果，还是有结晶峰的，帖子结了吧。
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step by step
2楼2015-03-25 18:20:41
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dwysd

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ykelikelie(ivansdk代发): 金币+5 2015-03-26 09:43:14
首先要确定薄膜厚度，如果太薄了，是不行的。
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3楼2015-03-25 21:15:37
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xsz2013

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by ykelikelie at 2015-03-25 18:20:41
刚看到xrd结果，还是有结晶峰的，帖子结了吧。

请问为什么突然就有结晶峰了呢？之前自己观测手段的问题？膜厚多大呢？谢谢
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4楼2015-03-26 15:37:54
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