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ykelikelie

木虫 (正式写手)

应助: 4 (幼儿园)
金币: 2042.5
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帖子: 665
在线: 181.1小时
虫号: 2117005
注册: 2012-11-09
性别: GG
专业: 数论

[求助] 磁控溅射镀氧化钛薄膜不结晶已有1人参与

靶材为纯金属钛靶，没有加热玻璃基片，用射频溅射的参数是：功率220W，时间2小时，氧气2sccm，氩气40sccm，压强0.6pa，600℃退火1小时，靶间距8cm，xrd结果是非晶态的，换用直流溅射时在450℃退火1小时，其他参数都一样，xrd结果仍然是非晶态的，但玻璃表面可以看到有膜，为什么没有结晶呢？想请虫友帮忙解答一下。

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薄膜制备与特性

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step by step

1楼2015-03-25 17:06:15

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1-maker

木虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
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帖子: 175
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虫号: 4034163
注册: 2015-08-23
专业: 金属材料的力学行为

请问下那个膜的结晶性不好，怎么控制

6楼2015-11-12 10:36:43

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