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安平勒

铜虫 (小有名气)

[求助] 如何用磁控溅射镀制氧化镍薄膜

本人打算镀制氧化镍基电致变色材料,但是问题如下:
     由于镍具有铁磁性,但是见文献中有很多用磁控溅射镀制的,这是不是对设备有着更高的要求?如果这样那么如何用普通磁控溅射仪镀制氧化镍薄膜呢?
     采用氧化镍陶瓷应该也是不能消磁吧?
     另外采用镍合金靶材的方法,能否消磁?如有一篇文献中采用镍(93%)-钒(7%)的合金作靶材,那么合金的话掺多少可以消磁,如果掺铝、掺镁、掺钨至少掺多少可以消磁呢?
    请各位多多指教啊,拜托了。
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wanghuaxing

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

2楼2015-03-31 19:33:00
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flielie

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by wanghuaxing at 2015-03-31 19:33:00
我们一直在用磁控溅射镀镍及氧化镍

你们有做过磁控溅射镍铁合金薄膜吗?你们有做过磁控溅射镍铁合金薄膜吗?
3楼2015-04-28 11:11:46
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wanghuaxing

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

4楼2015-04-28 21:03:17
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weid

银虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by wanghuaxing at 2015-03-31 19:33:00
我们一直在用磁控溅射镀镍及氧化镍

您好,我想问下你们磁控溅射镀氧化镍的温度是多少
that's me,a boy,who love the world,love everything.
5楼2016-12-01 20:49:17
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