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huihuidl

新虫 (初入文坛)


[交流] 直流磁控溅射镀氧化亚铜

用直流磁控溅射镀氧化亚铜,开始挺好的。后来发现实验重复性很差,再后来是薄膜掉渣,参数什么的都没变,不知道怎么回事。中间发现靶心变黑了,用砂纸打磨,溅射后还是不行,哪位遇见过类似的情况的,请帮忙提点建议!谢谢!
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xqbeyond

木虫 (著名写手)



huihuidl(金币+1): 谢谢参与
楼主,什么时候再镀,能否帮忙打几片样?
2楼2013-07-15 15:32:25
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平底锅2013

铁虫 (小有名气)



huihuidl(金币+1): 谢谢参与
我做氮化钛靶材中间也会变黑,不知道是怎么回事。我的是新设备。
3楼2013-07-15 16:45:13
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wiseroy

木虫 (著名写手)



huihuidl(金币+1): 谢谢参与
1、靶材一定要接触好;
2、氧气气氛控制好;
3、薄膜掉渣就是结合力不行,而且可能没连成一片
5楼2013-07-15 20:01:53
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ptpt

新虫 (初入文坛)



huihuidl(金币+1): 谢谢参与
结合力不行咋办。。。。
6楼2013-07-15 23:06:29
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huihuidl

新虫 (初入文坛)


引用回帖:
3楼: Originally posted by 平底锅2013 at 2013-07-15 16:45:13
我做氮化钛靶材中间也会变黑,不知道是怎么回事。我的是新设备。

氮化钛也变黑?亲也用的是直流吗,膜的质量怎么样呢?
7楼2013-07-16 09:12:41
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huihuidl

新虫 (初入文坛)


引用回帖:
5楼: Originally posted by wiseroy at 2013-07-15 20:01:53
1、靶材一定要接触好;
2、氧气气氛控制好;
3、薄膜掉渣就是结合力不行,而且可能没连成一片

恩,结合力是有点儿差,但是刚开始做的时候也挺好的,什么原因呢,请亲给指点,谢谢
8楼2013-07-16 09:14:37
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历阳遗老

新虫 (初入文坛)



huihuidl(金币+1): 谢谢参与
会不会是真空度不够就开始通气溅射了?
9楼2013-07-16 11:25:49
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huihuidl

新虫 (初入文坛)


引用回帖:
9楼: Originally posted by 历阳遗老 at 2013-07-16 11:25:49
会不会是真空度不够就开始通气溅射了?

真空度很高的
10楼2013-07-18 12:44:52
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霸天虎123

铜虫 (小有名气)



huihuidl(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
3楼: Originally posted by 平底锅2013 at 2013-07-15 16:45:13
我做氮化钛靶材中间也会变黑,不知道是怎么回事。我的是新设备。

能否加一下QQ,讨论下,我镀氮化钛也遇到这个问题,有人说过热
11楼2017-10-10 11:36:22
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简单回复
2013-07-15 17:19   回复  
huihuidl(金币+1): 谢谢参与
wangkj: 专业交流 严禁纯表灌水 下不为例 2013-07-15 20:35:53
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