应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 交流探讨 » 直流磁控溅射镀氧化亚铜
111/1返回列表
查看: 1603  |  回复: 10
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

huihuidl

新虫 (初入文坛)

[交流] 直流磁控溅射镀氧化亚铜

用直流磁控溅射镀氧化亚铜，开始挺好的。后来发现实验重复性很差，再后来是薄膜掉渣，参数什么的都没变，不知道怎么回事。中间发现靶心变黑了，用砂纸打磨，溅射后还是不行，哪位遇见过类似的情况的，请帮忙提点建议！谢谢！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2013-07-15 10:09:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xqbeyond

木虫 (著名写手)
★
huihuidl(金币+1): 谢谢参与
楼主，什么时候再镀，能否帮忙打几片样？
赞一下 回复此楼
2楼2013-07-15 15:32:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

平底锅2013

铁虫 (小有名气)
★
huihuidl(金币+1): 谢谢参与
我做氮化钛靶材中间也会变黑，不知道是怎么回事。我的是新设备。
赞一下 回复此楼
3楼2013-07-15 16:45:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wiseroy

木虫 (著名写手)
★
huihuidl(金币+1): 谢谢参与
1、靶材一定要接触好；
2、氧气气氛控制好；
3、薄膜掉渣就是结合力不行，而且可能没连成一片
赞一下 回复此楼
5楼2013-07-15 20:01:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ptpt

新虫 (初入文坛)
★
huihuidl(金币+1): 谢谢参与
结合力不行咋办。。。。
回复此楼
6楼2013-07-15 23:06:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huihuidl

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 平底锅2013 at 2013-07-15 16:45:13
我做氮化钛靶材中间也会变黑，不知道是怎么回事。我的是新设备。

氮化钛也变黑？亲也用的是直流吗，膜的质量怎么样呢？
赞一下 回复此楼
7楼2013-07-16 09:12:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huihuidl

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
5楼: Originally posted by wiseroy at 2013-07-15 20:01:53
1、靶材一定要接触好；
2、氧气气氛控制好；
3、薄膜掉渣就是结合力不行，而且可能没连成一片

恩，结合力是有点儿差，但是刚开始做的时候也挺好的，什么原因呢，请亲给指点，谢谢
赞一下 回复此楼
8楼2013-07-16 09:14:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

历阳遗老

新虫 (初入文坛)
★
huihuidl(金币+1): 谢谢参与
会不会是真空度不够就开始通气溅射了？
赞一下 回复此楼
9楼2013-07-16 11:25:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

huihuidl

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 历阳遗老 at 2013-07-16 11:25:49
会不会是真空度不够就开始通气溅射了？

真空度很高的
回复此楼
10楼2013-07-18 12:44:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

霸天虎123

铜虫 (小有名气)
★
huihuidl(金币+1): 谢谢参与
引用回帖:
3楼: Originally posted by 平底锅2013 at 2013-07-15 16:45:13
我做氮化钛靶材中间也会变黑，不知道是怎么回事。我的是新设备。

能否加一下QQ，讨论下，我镀氮化钛也遇到这个问题，有人说过热
赞一下 回复此楼
11楼2017-10-10 11:36:22
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
yingying15884楼
2013-07-15 17:19   回复  
huihuidl(金币+1): 谢谢参与
wangkj: 专业交流 严禁纯表灌水 下不为例 2013-07-15 20:35:53
相关版块跳转 我要订阅楼主 huihuidl 的主题更新
111/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭