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直流磁控溅射镀氧化亚铜
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huihuidl
新虫
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虫号: 2368856
[交流]
直流磁控溅射镀氧化亚铜
用直流磁控溅射镀氧化亚铜,开始挺好的。后来发现实验重复性很差,再后来是薄膜掉渣,参数什么的都没变,不知道怎么回事。中间发现靶心变黑了,用砂纸打磨,溅射后还是不行,哪位遇见过类似的情况的,请帮忙提点建议!谢谢!
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1楼
2013-07-15 10:09:38
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平底锅2013
铁虫
(小有名气)
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(幼儿园)
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帖子: 54
在线: 6.2小时
虫号: 2546274
★
huihuidl(金币+1): 谢谢参与
我做氮化钛靶材中间也会变黑,不知道是怎么回事。我的是新设备。
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3楼
2013-07-15 16:45:13
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xqbeyond
木虫
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虫号: 594119
★
huihuidl(金币+1): 谢谢参与
楼主,什么时候再镀,能否帮忙打几片样?
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2楼
2013-07-15 15:32:25
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wiseroy
木虫
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在线: 225.8小时
虫号: 1169386
★
huihuidl(金币+1): 谢谢参与
1、靶材一定要接触好;
2、氧气气氛控制好;
3、薄膜掉渣就是结合力不行,而且可能没连成一片
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5楼
2013-07-15 20:01:53
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新虫
(初入文坛)
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(幼儿园)
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帖子: 21
在线: 113小时
虫号: 770596
★
huihuidl(金币+1): 谢谢参与
结合力不行咋办。。。。
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6楼
2013-07-15 23:06:29
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