版块导航
正在加载中...
客户端APP下载
论文辅导
申博辅导
登录
注册
帖子
帖子
用户
本版
应《网络安全法》要求,自2017年10月1日起,未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用,请尽快对帐号进行手机号验证,感谢您的理解与支持!
24小时热门版块排行榜
>
论坛更新日志
(275)
>
虫友互识
(21)
>
休闲灌水
(14)
>
考博
(5)
>
导师招生
(4)
>
有机资源
(2)
>
教师之家
(2)
>
文献求助
(2)
>
公派出国
(2)
>
招聘信息布告栏
(1)
>
博后之家
(1)
>
学术会议
(1)
>
电化学
(1)
>
基金申请
(1)
>
考研
(1)
小木虫论坛-学术科研互动平台
»
材料区
»
材料工程
»
工艺设计与开发
»
射频磁控溅射的薄膜起层脱落
5
1/1
返回列表
查看: 542 | 回复: 2
只看楼主
@他人
存档
新回复提醒
(忽略)
收藏
在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖
yuan19920
新虫
(初入文坛)
应助: 0
(幼儿园)
金币: 6.5
帖子: 14
在线: 6.7小时
虫号: 3247308
注册: 2014-06-01
专业: 金属基复合材料
[
求助
]
射频磁控溅射的薄膜起层脱落
已有2人参与
射频磁控溅射的薄膜起层脱落
DSC_0035.jpg
回复此楼
» 猜你喜欢
各位大佬帮忙看看评审意见,对应什么评级?
已经有15人回复
青基评阅意见打分,未中
已经有9人回复
工程热物理与能源利用论文润色/翻译怎么收费?
已经有69人回复
浙江大学机械工程学院党超群课题组招收博士研究生
已经有0人回复
华北电力大学王鹏课题组诚招博士/硕士
已经有3人回复
湖南大学JQ团队段辉高教授课题组招光学、算法博士啦!2026级,2个名额,等你加入!
已经有11人回复
推荐一本新书,《半导体材料计算》vasp软件入门学习教程,配套参数文件
已经有0人回复
都柏林大学微纳制造博士后招聘启事
已经有0人回复
都柏林大学工学院自动化方向博士后招聘启事
已经有0人回复
» 本主题相关价值贴推荐,对您同样有帮助:
射频磁控溅射法制备MgO薄膜
已经有7人回复
磁控溅射氮化硅薄膜?
已经有7人回复
做射频磁控溅射的金属铟靶材短路,融化了
已经有9人回复
急问:磁控溅射生长NiO薄膜,测不出XRD? 多谢!
已经有16人回复
磁控溅射制备氮化铝薄膜
已经有7人回复
磁控溅射中如何用氩离子轰击基片
已经有11人回复
直流磁控溅射和射频磁控溅射的原理及区别
已经有1人回复
磁控溅射ZnO薄膜电阻太大
已经有19人回复
请教一个关于磁控溅射的问题 在靶材上贴片
已经有16人回复
直流磁控溅射AZO薄膜为什么方阻总是很大?
已经有10人回复
请教一个磁控溅射制备薄膜的问题,用相同功率的直流和射频溅射金属靶效果有什么不同?
已经有13人回复
射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈
已经有33人回复
射频磁控溅射陶瓷靶材开裂
已经有18人回复
磁控溅射 射频电源 不能起辉(谢谢)
已经有20人回复
[求助]磁控溅射制备SiN,用的是射频电源,有辉光,但溅射不上
已经有11人回复
关于磁控溅射靶材的颗粒
已经有10人回复
直流磁控溅射与射频磁控溅射镀银
已经有15人回复
射频磁控溅射ZAO陶瓷靶时遇到的一些问题
已经有10人回复
磁控溅射能起辉,但不能沉积
已经有21人回复
射频磁控溅射镀金属靶材如何建立自偏压?
已经有5人回复
直流磁控溅射镀膜总是被氧化
已经有42人回复
【求助】射频磁控溅射的靶材一般能用几次?或者多久?
已经有9人回复
【求助】射频磁控溅射镀4um厚的铝膜,颜色发白是怎么回事啊~~~
已经有8人回复
【求助】请教为什么有人用磁控溅射金属膜用的是射频电源
已经有21人回复
【求助】磁控溅射时的基板问题
已经有4人回复
1楼
2015-03-28 14:03:25
已阅
关注TA
给TA发消息
送TA红花
TA的回帖
狼牙峰峰拳
金虫
(初入文坛)
应助: 5
(幼儿园)
金币: 560.1
帖子: 25
在线: 17.9小时
虫号: 3154204
注册: 2014-04-22
性别: GG
专业: 半导体材料
【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
看你是什么材料。。材料和基地的晶格匹配度太差,解决办法是你在不影响器件性能的情况下,把薄膜做薄一些。。就不容易脱落了。。
赞
一下
回复此楼
高级回复
3楼
2015-03-29 10:43:25
已阅
关注TA
给TA发消息
送TA红花
TA的回帖
查看全部 3 个回答
peterflyer
木虫之王
(文学泰斗)
peterflyer
GEPI: 3
应助: 20282
(院士)
金币: 146004
红花: 1374
帖子: 93091
在线: 7694.3小时
虫号: 1482829
注册: 2011-11-08
性别: GG
专业: 功能陶瓷
【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
溅射的是在什么基底上的什么薄膜呢?薄膜脱落不外乎两种原因:一种是两种材料润湿性差,结合力小;另一种是两种材料的热膨胀系数相差太大,导致温度残余应力过大而脱落。
赞
一下
回复此楼
2楼
2015-03-28 19:07:22
已阅
关注TA
给TA发消息
送TA红花
TA的回帖
查看全部 3 个回答
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭
确定