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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 工艺设计与开发 » 射频磁控溅射的薄膜起层脱落
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yuan19920

新虫 (初入文坛)

[求助] 射频磁控溅射的薄膜起层脱落 已有2人参与

射频磁控溅射的薄膜起层脱落

射频磁控溅射的薄膜起层脱落
DSC_0035.jpg
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1楼 2015-03-28 14:03:25
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狼牙峰峰拳

金虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
看你是什么材料。。材料和基地的晶格匹配度太差，解决办法是你在不影响器件性能的情况下，把薄膜做薄一些。。就不容易脱落了。。
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3楼2015-03-29 10:43:25
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
溅射的是在什么基底上的什么薄膜呢？薄膜脱落不外乎两种原因：一种是两种材料润湿性差，结合力小；另一种是两种材料的热膨胀系数相差太大，导致温度残余应力过大而脱落。
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2楼2015-03-28 19:07:22
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