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射频磁控溅射的薄膜起层脱落
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yuan19920
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射频磁控溅射的薄膜起层脱落
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射频磁控溅射的薄膜起层脱落
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2015-03-28 14:03:25
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专业: 功能陶瓷
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溅射的是在什么基底上的什么薄膜呢?薄膜脱落不外乎两种原因:一种是两种材料润湿性差,结合力小;另一种是两种材料的热膨胀系数相差太大,导致温度残余应力过大而脱落。
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2楼
2015-03-28 19:07:22
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专业: 半导体材料
【答案】应助回帖
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看你是什么材料。。材料和基地的晶格匹配度太差,解决办法是你在不影响器件性能的情况下,把薄膜做薄一些。。就不容易脱落了。。
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3楼
2015-03-29 10:43:25
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