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cqbpatriot木虫 (著名写手)
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[求助]
请问一下，用磁控溅射，可不可以把n型或p型片直接贴在溅射靶上，当靶材使用 已有1人参与
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| 靶是本征硅靶，表面贴n-si |
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2楼2014-12-11 16:32:52
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cqbpatriot: 回帖置顶 2014-12-13 11:59:50
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可行的，最好的办法是，找一块与你的靶材同样大小的铜背板，将0.5mm厚的单晶片子，用焊锡膏或金属铟紧紧的贴在上面，这样就不怕污染你那块本征的靶材了。 记住硅片厚度不要用太薄的，避免打穿了，自己算好，要定期换。 单晶硅片与多晶硅片溅射效果是一样的，即使是多晶硅，其晶粒大小也是上1cm以上的大晶粒，宏观上与单晶硅是属于同一水平的，因此不会影响溅射效果。 溅射时候，最重要的是电压要加在靶材上，因此很有必要解决导电问题，你在贴片的时候，应该贴的结实一点，一方面是防止掉落，一方面是尽可能降低接触电阻，还有就是散热问题；因此我建议你使用铜背板的方法，导热好，可直接焊接（锡或铟焊）硅片，如果靶材打穿，随时可以更换。 |
4楼2014-12-11 22:33:41
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