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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 交流互助 » 想问一下做磁控溅射的，Au Ag Cu的溅射率具体是多少？三者之间差别大吗？
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wangyali90

新虫 (初入文坛)

[求助] 想问一下做磁控溅射的，Au Ag Cu的溅射率具体是多少？三者之间差别大吗？ 已有1人参与

想问一下做磁控溅射的，Au Ag Cu的溅射率具体是多少？三者之间差别大吗？
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1楼 2014-09-10 22:14:37
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phoenixking

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
溅射速率有文献可以查的，有一张图标上面标注了各个金属的溅射速率，我的博士大论文里面就有这张图。通过溅射速率可以确定制备合金薄膜时的靶材相对成分。应该是有差别的，从合金的熔点就可以知道
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2楼2014-09-11 08:11:02
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wangyali90

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by phoenixking at 2014-09-11 08:11:02
溅射速率有文献可以查的，有一张图标上面标注了各个金属的溅射速率，我的博士大论文里面就有这张图。通过溅射速率可以确定制备合金薄膜时的靶材相对成分。应该是有差别的，从合金的熔点就可以知道

谢谢您，还想问一下您博士论文的题目，可以给我一个链接吗？谢谢了！
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3楼2014-09-11 19:25:19
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phoenixking

木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by wangyali90 at 2014-09-11 19:25:19
谢谢您，还想问一下您博士论文的题目，可以给我一个链接吗？谢谢了！...

溅射铜和铜合金薄膜的微观结构和性能
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4楼2014-09-13 15:56:02
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