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wangyali90

新虫 (初入文坛)

[求助] 想问一下做磁控溅射的,Au Ag Cu的溅射率具体是多少?三者之间差别大吗? 已有1人参与

想问一下做磁控溅射的,Au Ag Cu的溅射率具体是多少?三者之间差别大吗?
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phoenixking

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
溅射速率有文献可以查的,有一张图标上面标注了各个金属的溅射速率,我的博士大论文里面就有这张图。通过溅射速率可以确定制备合金薄膜时的靶材相对成分。应该是有差别的,从合金的熔点就可以知道
2楼2014-09-11 08:11:02
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wangyali90

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by phoenixking at 2014-09-11 08:11:02
溅射速率有文献可以查的,有一张图标上面标注了各个金属的溅射速率,我的博士大论文里面就有这张图。通过溅射速率可以确定制备合金薄膜时的靶材相对成分。应该是有差别的,从合金的熔点就可以知道

谢谢您,还想问一下您博士论文的题目,可以给我一个链接吗?谢谢了!
3楼2014-09-11 19:25:19
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phoenixking

木虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by wangyali90 at 2014-09-11 19:25:19
谢谢您,还想问一下您博士论文的题目,可以给我一个链接吗?谢谢了!...

溅射铜和铜合金薄膜的微观结构和性能
4楼2014-09-13 15:56:02
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