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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 设计与制备 » 请问一下 磁控溅射设备可以退火么？
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HHBWF

禁虫 (小有名气)
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1楼 2013-03-16 19:07:33
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sandman_188

木虫 (小有名气)
★
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当然没问题了，原位退火效果不是更好吗，沙发一个，呵呵
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2楼2013-03-16 19:29:41
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HHBWF

禁虫 (小有名气)
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3楼2013-03-16 19:31:31
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)
★
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我感觉是没什么问题的，因为原则上理论是一致的，只是我怕加热的时间太长的话，会不会加热丝有问题。
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用绳命来搞科研
4楼2013-03-17 10:32:16
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HHBWF

禁虫 (小有名气)
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5楼2013-03-17 11:58:06
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lwq891013

金虫 (小有名气)
★ ★
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nofrunolif: 金币+1, 鼓励新虫交流 2013-03-17 22:44:31
我们实验室就是这么做的，本来很多时候就需要给基底加热的，镀膜结束后再这样退火行得通。
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6楼2013-03-17 21:17:37
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HHBWF

禁虫 (小有名气)
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7楼2013-03-17 22:34:19
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lmcr
8楼2013-03-18 07:59:01
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anyupenglilin

铜虫 (小有名气)
★
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退火总有个条件吧，真空炉能满足退火的条件吗？比如是否是快速退火，温度怎么要求的？
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9楼2013-03-19 11:13:22
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gladiater

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
没问题啊，我们经常这么搞
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10楼2013-03-19 21:13:48
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