请问一下磁控溅射设备可以退火么？ - 功能材料 - 设计与制备

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禁虫 (小有名气)

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11楼2013-03-19 22:29:42

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新虫 (正式写手)

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这个就是原位退火啊不过应该属于常规退火范畴了吧不能进行快速退火

12楼2013-04-02 15:25:04

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新虫 (初入文坛)

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小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖

你的样品需要空气中加热退火，如果直接在磁控腔体中进行，后期抽真空就麻烦，好几天的时间吧~~原位退火倒是没有问题！！你是哪儿的，我们实验室有真空退火的，可以在E-5条件下退火~

13楼2013-04-03 12:09:39

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