请问一下磁控溅射设备可以退火么？ - 功能材料 - 设计与制备

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HHBWF

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1楼 2013-03-16 19:07:33

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lwq891013

金虫 (小有名气)

应助: 5 (幼儿园)
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注册: 2012-10-12
专业: 无机非金属材料

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nofrunolif: 金币+1, 鼓励新虫交流 2013-03-17 22:44:31

我们实验室就是这么做的，本来很多时候就需要给基底加热的，镀膜结束后再这样退火行得通。

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6楼2013-03-17 21:17:37

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sandman_188

木虫 (小有名气)

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专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

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当然没问题了，原位退火效果不是更好吗，沙发一个，呵呵

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2楼2013-03-16 19:29:41

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HHBWF

禁虫 (小有名气)

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3楼2013-03-16 19:31:31

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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

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我感觉是没什么问题的，因为原则上理论是一致的，只是我怕加热的时间太长的话，会不会加热丝有问题。

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用绳命来搞科研

4楼2013-03-17 10:32:16

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