| 查看: 988 | 回复: 5 | ||||
cqbpatriot木虫 (著名写手)
独行背包客
|
[求助]
请问一下，用磁控溅射，可不可以把n型或p型片直接贴在溅射靶上，当靶材使用已有1人参与
|
| 靶是本征硅靶，表面贴n-si |
回复此楼» 猜你喜欢
三无产品还有机会吗
已经有3人回复
-
投稿返修后收到这样的回复，还有希望吗
已经有7人回复
-
压汞仪和BET测气凝胶孔隙率
已经有4人回复
-
博士申请都是内定的吗？
已经有14人回复
-
谈谈两天一夜的“延安行”
已经有13人回复
-
氨基封端PDMS和HDI反应快速固化
已经有11人回复
-
之前让一硕士生水了7个发明专利，现在这7个获批发明专利的维护费可从哪儿支出哈？
已经有11人回复
-
论文投稿求助
已经有4人回复
-
Applied Surface Science 这个期刊。有哪位虫友投过的能把word模板发给我参考一下嘛
已经有3人回复
-
投稿精细化工
已经有6人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 哪家公司卖的用于磁控溅射镀膜的MgO靶材比较好，希望有经验者推荐一下，
已经有12人回复
- 射频磁控溅射法制备MgO薄膜
已经有7人回复
- 磁控溅射工艺可行性问题
已经有11人回复
- 想问一下做磁控溅射的，Au Ag Cu的溅射率具体是多少？三者之间差别大吗？
已经有3人回复
- 磁控溅射Fe靶的溅射电压范围
已经有6人回复
- 做射频磁控溅射的金属铟靶材短路，融化了
已经有9人回复
- 磁控溅射靶材制备方法
已经有10人回复
- 急问：磁控溅射生长NiO薄膜，测不出XRD？ 多谢！
已经有16人回复
- 磁控溅射中如何用氩离子轰击基片
已经有11人回复
- 关于磁控溅射的一个问题，请做磁控溅射的朋友指导一下！
已经有9人回复
- 请教一个关于磁控溅射的问题 在靶材上贴片
已经有16人回复
- 求教一个磁控溅射的问题 相同的靶材溅射出的膜质量却不一样！
已经有13人回复
- 关于金属靶磁控溅射问题
已经有13人回复
- 请教一个磁控溅射制备薄膜的问题，用相同功率的直流和射频溅射金属靶效果有什么不同？
已经有13人回复
- 射频磁控溅射后为什么靶材表面有黑膜和彩色光圈
已经有33人回复
- 请问一下 磁控溅射设备可以退火么？
已经有12人回复
- 磁控溅射中的双靶共溅射，如何通过调整两个靶材的溅射功率控制掺杂量？
已经有20人回复
- [求助]磁控溅射制备SiN，用的是射频电源，有辉光，但溅射不上
已经有11人回复
- 磁控溅射腔室内的铝靶变质了 急！急！急！
已经有6人回复
- 请教磁控溅射的气压和功率对薄膜质量的作用，谢谢！
已经有20人回复
- 进行磁控溅射时，如果不用外部加热器，基体温度为多少
已经有19人回复
- 直流磁控溅射 溅射无法起弧 靶材刻蚀严重
已经有13人回复
- 磁控溅射靶材bondig
已经有14人回复
- 我用磁控溅射镀的硼膜，是这个样子的，请问高手们是什么原因，该怎么办？
已经有9人回复
- 【请教】请教，关于Ar磁控溅射的溅射效率问题
已经有4人回复
caoxiafei
专家顾问 (著名写手)
研发工程师-Topcon/HJT电池
-
专家经验: +112 - 应助: 184 (高中生)
- 贵宾: 0.018
- 金币: 5065
- 散金: 6
- 红花: 23
- 帖子: 1216
- 在线: 434小时
- 虫号: 832355
- 注册: 2009-08-22
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
- 管辖: 功能材料
2楼2014-12-11 16:32:52
cqbpatriot
木虫 (著名写手)
独行背包客
- 应助: 15 (小学生)
- 贵宾: 0.501
- 金币: 4420.5
- 散金: 1403
- 红花: 13
- 沙发: 1
- 帖子: 1361
- 在线: 284.9小时
- 虫号: 1400717
- 注册: 2011-09-13
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
3楼2014-12-11 18:50:41
caoxiafei
专家顾问 (著名写手)
研发工程师-Topcon/HJT电池
-
专家经验: +112 - 应助: 184 (高中生)
- 贵宾: 0.018
- 金币: 5065
- 散金: 6
- 红花: 23
- 帖子: 1216
- 在线: 434小时
- 虫号: 832355
- 注册: 2009-08-22
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
- 管辖: 功能材料
cqbpatriot: 回帖置顶 2014-12-13 11:59:50
|
可行的，最好的办法是，找一块与你的靶材同样大小的铜背板，将0.5mm厚的单晶片子，用焊锡膏或金属铟紧紧的贴在上面，这样就不怕污染你那块本征的靶材了。 记住硅片厚度不要用太薄的，避免打穿了，自己算好，要定期换。 单晶硅片与多晶硅片溅射效果是一样的，即使是多晶硅，其晶粒大小也是上1cm以上的大晶粒，宏观上与单晶硅是属于同一水平的，因此不会影响溅射效果。 溅射时候，最重要的是电压要加在靶材上，因此很有必要解决导电问题，你在贴片的时候，应该贴的结实一点，一方面是防止掉落，一方面是尽可能降低接触电阻，还有就是散热问题；因此我建议你使用铜背板的方法，导热好，可直接焊接（锡或铟焊）硅片，如果靶材打穿，随时可以更换。 |
4楼2014-12-11 22:33:41
cqbpatriot
木虫 (著名写手)
独行背包客
- 应助: 15 (小学生)
- 贵宾: 0.501
- 金币: 4420.5
- 散金: 1403
- 红花: 13
- 沙发: 1
- 帖子: 1361
- 在线: 284.9小时
- 虫号: 1400717
- 注册: 2011-09-13
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
5楼2014-12-12 17:03:25
huihui2eat
银虫 (小有名气)
- 应助: 15 (小学生)
- 金币: 709.3
- 散金: 70
- 帖子: 184
- 在线: 66.2小时
- 虫号: 3318737
- 注册: 2014-07-11
- 专业: 等离子体物理
6楼2014-12-16 08:35:43