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新虫 (小有名气)

[交流] 有谁用过碳酸钡陶瓷靶做磁控溅射吗?

我想问问使用过程中的一些注意事项,还有,碳酸钡分解温度1400多度,用磁控溅射做的碳酸钡容易分解吗,想在950度左右在氨气气氛下让它分解。
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