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Mr_Au

金虫 (初入文坛)

[求助] 直流磁控溅射硅薄膜的问题。 已有1人参与

有没有用直流磁控溅射镀过硅薄膜的同学?有没有遇到过一种情况就是溅射出来时候,薄膜均匀性完整性都特别的好。但是放置一段时间后,再去移动那块薄膜的时候,可以看到薄膜局部开始起皱,紧接着就延伸到整块薄膜。这时候用洗耳球去吹表面也不能把膜吹落!这时神马情况?我觉得是我用直流溅射,成膜速率过大,来不及释放应力就成膜,导致薄膜后来释放应力而弄成的,不知道这样的解释有没有道理?
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small421

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

应该就是薄膜应力问题
2楼2015-12-14 17:12:11
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