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Mr_Au

金虫 (初入文坛)

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[求助] 直流磁控溅射硅薄膜的问题。已有1人参与

有没有用直流磁控溅射镀过硅薄膜的同学？有没有遇到过一种情况就是溅射出来时候，薄膜均匀性完整性都特别的好。但是放置一段时间后，再去移动那块薄膜的时候，可以看到薄膜局部开始起皱，紧接着就延伸到整块薄膜。这时候用洗耳球去吹表面也不能把膜吹落！这时神马情况？我觉得是我用直流溅射，成膜速率过大，来不及释放应力就成膜，导致薄膜后来释放应力而弄成的，不知道这样的解释有没有道理？

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1楼 2014-05-07 12:10:13

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small421

新虫 (初入文坛)

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【答案】应助回帖

应该就是薄膜应力问题

2楼2015-12-14 17:12:11

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