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zhuwenchun.

新虫 (初入文坛)

[交流] 直流磁控溅射铝薄膜 已有4人参与

直流磁控溅射铝膜时,已经溅射了两个样品了,在溅射第三个样品几分钟后,电压突然降为零,辉光也消失了,但是有电流,而且可以调大,但就是没有电压,不起辉,其它参数也没有发生什么变化(氩气流量为70sccm,气压1.0Pa,本地真空度<10E-4)求大神指点啊! 小女子不胜感激!
我的样品还在溅射腔内呢。在线等
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yachong001

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
很明显,短路了,需要开门清洁了
5楼2019-10-21 13:34:15
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mobai636

铜虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
可能是靶材短路你清洁一下靶材试试

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
2楼2014-03-20 21:20:48
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爱诺金

铁虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
应该是短路了。 我也做磁控溅射镀铝膜,但是老是氧化。你做出来的Al膜是什么颜色的
3楼2014-06-06 15:29:56
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心如

新虫 (初入文坛)

4楼2018-01-30 23:10:00
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