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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 金属 » 表面处理 » 直流磁控溅射铝薄膜
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zhuwenchun.

新虫 (初入文坛)

[交流] 直流磁控溅射铝薄膜 已有4人参与

直流磁控溅射铝膜时，已经溅射了两个样品了，在溅射第三个样品几分钟后，电压突然降为零，辉光也消失了，但是有电流，而且可以调大，但就是没有电压，不起辉，其它参数也没有发生什么变化（氩气流量为70sccm，气压1.0Pa,本地真空度<10E-4）求大神指点啊! 小女子不胜感激！
我的样品还在溅射腔内呢。在线等
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1楼 2014-03-19 21:04:15
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yachong001

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
很明显，短路了，需要开门清洁了
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5楼2019-10-21 13:34:15
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mobai636

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
可能是靶材短路你清洁一下靶材试试

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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2楼2014-03-20 21:20:48
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爱诺金

铁虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
应该是短路了。 我也做磁控溅射镀铝膜，但是老是氧化。你做出来的Al膜是什么颜色的
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3楼2014-06-06 15:29:56
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心如

新虫 (初入文坛)
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4楼2018-01-30 23:10:00
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