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zhuwenchun.新虫 (初入文坛)
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直流磁控溅射铝薄膜 已有4人参与
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直流磁控溅射铝膜时，已经溅射了两个样品了，在溅射第三个样品几分钟后，电压突然降为零，辉光也消失了，但是有电流，而且可以调大，但就是没有电压，不起辉，其它参数也没有发生什么变化（氩气流量为70sccm，气压1.0Pa,本地真空度<10E-4）求大神指点啊! 小女子不胜感激！ 我的样品还在溅射腔内呢。在线等 |
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