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磁控溅射氧化钒，高温还原得到VO2遇到的问题 已有2人参与
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| 我采用直流反应磁控溅射，以单质V为靶材，通氧气溅射成高价态V2O5，然后高温还原得到VO2，之前这种方法是可行的，后来靶间距增大后就怎么也得不到VO2了，采用很高的退火温度也没办法还原了，请问这是为什么呀 |
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 磁控溅射靶材资料大全 |
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