应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 磁控溅射氧化钒，高温还原得到VO2遇到的问题
51/1返回列表
查看: 2573  |  回复: 13
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

jintianly

铜虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射氧化钒，高温还原得到VO2遇到的问题 已有2人参与

我采用直流反应磁控溅射，以单质V为靶材，通氧气溅射成高价态V2O5，然后高温还原得到VO2，之前这种方法是可行的，后来靶间距增大后就怎么也得不到VO2了，采用很高的退火温度也没办法还原了，请问这是为什么呀
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
镀膜的物理生
1楼 2014-01-07 18:21:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jintianly

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by peterflyer at 2014-01-07 19:08:15
楼主的意思是靶距增大后溅射得到的V2O5膜在随后的高温退火中保持稳定，不再被还原为低价的VO2了，是这样吗？楼主的高温退火是只是高温，还是还伴随通氢气或其他还原性气体呢？那楼主确信得到的仍旧是V2O5膜而不是其 ...

是的，不能讲其还原成VO2了。XRD结果表明是V6O11或者V6O13（V氧化物太多，不好确定），但得不到VO2。我在真空（10的-4次方Pa）以及Ar环境（270Pa）下不同温度都尝试过，就是得不到VO2。
赞一下 回复此楼
镀膜的物理生
4楼2014-01-07 21:38:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 14 个回答

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
楼主的意思是靶距增大后溅射得到的V2O5膜在随后的高温退火中保持稳定，不再被还原为低价的VO2了，是这样吗？楼主的高温退火是只是高温，还是还伴随通氢气或其他还原性气体呢？那楼主确信得到的仍旧是V2O5膜而不是其他的呢？
赞一下 回复此楼
3楼2014-01-07 19:08:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jintianly

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by phyzlc at 2014-01-07 19:04:33
我也想知道

你也遇到过这样？
赞一下 回复此楼
镀膜的物理生
5楼2014-01-07 21:41:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
引用回帖:
4楼: Originally posted by jintianly at 2014-01-07 21:38:45
是的，不能讲其还原成VO2了。XRD结果表明是V6O11或者V6O13（V氧化物太多，不好确定），但得不到VO2。我在真空（10的-4次方Pa）以及Ar环境（270Pa）下不同温度都尝试过，就是得不到VO2。...

楼主的意思是说，要么过氧化了，要么欠氧化了，正好没有想要的，对吗？我的理解V6O11欠氧化，V6O13过氧化，这样理解对吗？
赞一下 回复此楼
6楼2014-01-07 22:39:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 14 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] FileCode能看出啥？ +7 要乐观耀哥 2026-08-10 19/950 2026-08-12 10:55 by 要乐观耀哥
[基金申请] 应该是93bebmhtak前后十一个字符比较关键 +19 Lanmanbaby 2026-08-09 32/1600 2026-08-12 09:56 by gltch
[基金申请] 2019年青年基金涵评意见，大家看看几个A，几个B? +5 Tide man 2026-08-11 5/250 2026-08-12 09:24 by kangban
[论文投稿] 职称评审，求友友推荐见刊最快的期刊 +4 工厂打螺丝 2026-08-08 4/200 2026-08-12 09:18 by hansi2025
[基金申请] 是这周出结果还是下周出结果？ +3 yuleib84 2026-08-11 3/150 2026-08-11 21:53 by jnhyjjm
[基金申请] 为什么网上很多人说本周 12号出结果 +6 瞬息宇宙 2026-08-10 7/350 2026-08-11 19:25 by Tide man
[基金申请] 分享一下我之前已中青C的计划书的filecode +3 布布和一二 2026-08-11 4/200 2026-08-11 15:20 by aasahr
[基金申请] filecode +9 documentary 2026-08-10 9/450 2026-08-11 10:08 by wk7465
[基金申请] 基金中了 +15 laoda193707 2026-08-06 15/750 2026-08-11 00:11 by jiafei2190
[基金申请] 确定了，国自然21号放榜 +6 布布和一二 2026-08-10 7/350 2026-08-10 19:15 by 2000zf36392
[基金申请] 关于代码变化问题，想知道的进来 +17 且听虎啸 2026-08-07 24/1200 2026-08-10 18:35 by zhangduo2008
[基金申请] 静等基金结果 +5 gjjjzhong 2026-08-10 16/800 2026-08-10 17:19 by Tide man
[基金申请] 据悉今年马上要出结果了 +7 瞬息宇宙 2026-08-10 8/400 2026-08-10 12:42 by Vivilian
[基金申请] 2026国自然放榜时间 +9 布布和一二 2026-08-08 9/450 2026-08-10 11:22 by xxxx2020
[基金申请] 这样的filecode谁见过 +11 布布和一二 2026-08-08 22/1100 2026-08-10 11:10 by wmfsnow
[基金申请] filecode与中标关系的预测 +5 布布和一二 2026-08-07 5/250 2026-08-09 16:15 by 袁向阳007
[基金申请] 国基金的申报应该改成非等额制，评价高的钱多评价低的钱少，但是增加资助率 +7 a089 2026-08-07 7/350 2026-08-08 18:05 by gltch
[基金申请] 化学口download_prp&fileCode的固定段好像这几天一直没变，有变的大神么？ +3 Tide man 2026-08-07 4/200 2026-08-07 22:39 by Tide man
[基金申请] filecode变化情况 +6 布布和一二 2026-08-07 22/1100 2026-08-07 14:45 by 且听虎啸
[基金申请] 好消息？这个有何含义？？？ +8 Tide man 2026-08-05 10/500 2026-08-05 16:14 by xmuxiaoyu
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭