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jintianly

铜虫 (小有名气)

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10楼: Originally posted by ljlaser at 2014-05-19 22:10:31
直接用 VO2靶材 来做...

VO2做不成靶,是粉末的
镀膜的物理生
11楼2014-05-22 18:30:53
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jintianly

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
10楼: Originally posted by ljlaser at 2014-05-19 22:10:31
直接用 VO2靶材 来做...

后来发现退火还原方法太不稳定,还是直接加450℃以上的基底温度,精确控制氧流量做更稳定。
镀膜的物理生
12楼2014-05-22 18:31:59
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锡伯

银虫 (正式写手)

引用回帖:
7楼: Originally posted by jintianly at 2014-01-08 23:04:48
是的。今天有老师提醒,可能不是把间距的问题,有可能是因为靶中毒。我想在靶中毒情况下溅射氧化钒薄膜,不过试了一下午都不行,明天再试试。...

靶中毒可以用射频溅射吧? 你用直流还是射频?
立场坚定,斗志强
13楼2014-09-26 09:02:50
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alligator666

木虫 (小有名气)

我也打算金属靶溅射制二氧化钒薄膜,能问下楼主你制出来的薄膜多厚是什么颜色的么
14楼2016-03-10 14:26:01
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