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jintianly

铜虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射氧化钒,高温还原得到VO2遇到的问题 已有2人参与

我采用直流反应磁控溅射,以单质V为靶材,通氧气溅射成高价态V2O5,然后高温还原得到VO2,之前这种方法是可行的,后来靶间距增大后就怎么也得不到VO2了,采用很高的退火温度也没办法还原了,请问这是为什么呀
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镀膜的物理生
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jintianly

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
8楼: Originally posted by 鲸鱼先生 at 2014-04-13 18:39:58
没下文了么

到底试出来没有啊

后来没继续做了,换了方法,效果还好。
镀膜的物理生
9楼2014-04-16 17:12:19
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
楼主的意思是靶距增大后溅射得到的V2O5膜在随后的高温退火中保持稳定,不再被还原为低价的VO2了,是这样吗?楼主的高温退火是只是高温,还是还伴随通氢气或其他还原性气体呢?那楼主确信得到的仍旧是V2O5膜而不是其他的呢?
3楼2014-01-07 19:08:15
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jintianly

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by peterflyer at 2014-01-07 19:08:15
楼主的意思是靶距增大后溅射得到的V2O5膜在随后的高温退火中保持稳定,不再被还原为低价的VO2了,是这样吗?楼主的高温退火是只是高温,还是还伴随通氢气或其他还原性气体呢?那楼主确信得到的仍旧是V2O5膜而不是其 ...

是的,不能讲其还原成VO2了。XRD结果表明是V6O11或者V6O13(V氧化物太多,不好确定),但得不到VO2。我在真空(10的-4次方Pa)以及Ar环境(270Pa)下不同温度都尝试过,就是得不到VO2。
镀膜的物理生
4楼2014-01-07 21:38:45
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jintianly

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by phyzlc at 2014-01-07 19:04:33
我也想知道

你也遇到过这样?
镀膜的物理生
5楼2014-01-07 21:41:12
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