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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料工程 » 其他 » 关于射频磁控溅射
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1014488092

新虫 (初入文坛)

[求助] 关于射频磁控溅射

我做的是射频磁控溅射镀ITO，可是怎么变条件也做不出来，我想问问这个是不是也和射频电源有关系啊，影响有多少？谢谢！
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1楼2013-11-22 14:03:25
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齐风林

铁虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

气压也有关系，衬底要加热

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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8楼2013-11-26 23:10:06
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
不用射频啊，直接直流就可以做。我记得好像只要通氩气就OK了，其他的和普通金属没有什么区别。
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哈哈哈哈，来吧
2楼2013-11-22 14:10:33
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songbin664

金虫 (正式写手)

民工
是透过率不够呢，还是电导率不够？
你的问题过于笼统。
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3楼2013-11-22 17:22:19
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xunmengyuan

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
4楼2013-11-22 21:20:57
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