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关于射频磁控溅射
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新虫
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虫号: 2530107
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关于射频磁控溅射
我做的是射频磁控溅射镀ITO,可是怎么变条件也做不出来,我想问问这个是不是也和射频电源有关系啊,影响有多少?谢谢!
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1楼
2013-11-22 14:03:25
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hanhan1020
木虫
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注册: 2013-10-01
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专业: 金属材料的磨损与磨蚀
【答案】应助回帖
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金属靶的问题?
明确点
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没有读不下的书,只有不努力的自己。
5楼
2013-11-22 21:26:17
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jeremyfrc
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注册: 2012-03-31
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专业: 半导体科学与信息器件
【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
不用射频啊,直接直流就可以做。我记得好像只要通氩气就OK了,其他的和普通金属没有什么区别。
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哈哈哈哈,来吧
2楼
2013-11-22 14:10:33
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songbin664
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注册: 2006-05-28
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专业: 无机非金属基复合材料
是透过率不够呢,还是电导率不够?
你的问题过于笼统。
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3楼
2013-11-22 17:22:19
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xunmengyuan
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4楼
2013-11-22 21:20:57
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