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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 请大侠帮我看看我的中频磁控溅射靶怎么回事？
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liaofang20

银虫 (小有名气)

[求助] 请大侠帮我看看我的中频磁控溅射靶怎么回事？ 已有1人参与

图片为中频磁控溅射的两根靶材，靶材为铝靶，两根同时使用的，打了一段时间后，一根较黑，另一个很亮像没有溅射一样，但是两根靶材都有辉光，不知道咋回事，能否请大侠们帮我分析分析，不甚感激！
请大侠帮我看看我的中频磁控溅射靶怎么回事？
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1楼 2013-10-09 10:39:04
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houlucky

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
liaofang20: 金币+5, ★★★很有帮助, 亮色的靶材上面有些划痕，溅射了好久看不出有反应，但是两个靶接在直流上面溅射一段时间可以看出靶材有所溅射。好难啊 2013-10-10 09:40:35
黑色的是中毒了吧？有辉光不一定发生大量溅射，亮色的你确定没发生溅射？有无标记（如厚度、重量之类的）
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2楼2013-10-09 17:11:06
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liaofang20

银虫 (小有名气)
3楼2013-10-15 09:37:34
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八个雅鹿

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
liaofang20: 金币+5, ★★★很有帮助, 请假下大侠如何测？怎样才是中毒了。是否知道另外一支靶材是怎么回事？ 2013-10-15 17:16:07
去测量哈电阻，看是不是靶材中毒，是的话用砂纸打磨后在使用
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己所不欲，勿施于人。
4楼2013-10-15 15:33:46
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八个雅鹿

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
liaofang20: 金币+5, ★★★很有帮助, 谢谢，靶中毒已经解决。 2013-10-17 14:02:55
引用回帖:
4楼: Originally posted by 八个雅鹿 at 2013-10-15 15:33:46
去测量哈电阻，看是不是靶材中毒，是的话用砂纸打磨后在使用

靶中毒就意味着不能溅射出原子，不导电。这主要是由于氧化引起的。将靶材用中频源或射频源打一两个小时，可以恢复。或者将靶材拆出来，用砂纸抛光，也可解决
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己所不欲，勿施于人。
5楼2013-10-17 13:53:56
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fuyadong01

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
6楼2013-10-17 15:02:30
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八个雅鹿

银虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 八个雅鹿 at 2013-10-17 13:53:56
靶中毒就意味着不能溅射出原子，不导电。这主要是由于氧化引起的。将靶材用中频源或射频源打一两个小时，可以恢复。或者将靶材拆出来，用砂纸抛光，也可解决...

话说你是怎么解决的？砂纸吗？
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己所不欲，勿施于人。
7楼2013-10-17 15:07:50
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liaofang20

银虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by 八个雅鹿 at 2013-10-17 15:07:50
话说你是怎么解决的？砂纸吗？...

换了个磁钢，再用直流打了两个小时。
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8楼2013-10-18 15:23:28
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八个雅鹿

银虫 (正式写手)
其实用砂纸打磨是最快的
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己所不欲，勿施于人。
9楼2013-10-18 15:34:25
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ll2013

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
liaofang20: 金币+15, ★★★很有帮助 2014-06-13 10:50:51
发黑有辉光，可能并未大量溅射。发亮的也可能是中毒，形成氮化铝就是发亮的。
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10楼2014-06-13 10:49:46
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