应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 请大侠帮我看看我的中频磁控溅射靶怎么回事？
51/1返回列表
查看: 2003  |  回复: 9
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

liaofang20

银虫 (小有名气)

[求助] 请大侠帮我看看我的中频磁控溅射靶怎么回事？ 已有1人参与

图片为中频磁控溅射的两根靶材，靶材为铝靶，两根同时使用的，打了一段时间后，一根较黑，另一个很亮像没有溅射一样，但是两根靶材都有辉光，不知道咋回事，能否请大侠们帮我分析分析，不甚感激！
请大侠帮我看看我的中频磁控溅射靶怎么回事？
7de4f5d9jw1e9epz25wrlj20zk0np76j.jpg
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

磁控溅射靶材资料大全 Target and film 薄膜制备与特性

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-10-09 10:39:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

fuyadong01

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
6楼2013-10-17 15:02:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答

houlucky

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
liaofang20: 金币+5, ★★★很有帮助, 亮色的靶材上面有些划痕，溅射了好久看不出有反应，但是两个靶接在直流上面溅射一段时间可以看出靶材有所溅射。好难啊 2013-10-10 09:40:35
黑色的是中毒了吧？有辉光不一定发生大量溅射，亮色的你确定没发生溅射？有无标记（如厚度、重量之类的）
赞一下 回复此楼
2楼2013-10-09 17:11:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

八个雅鹿

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
liaofang20: 金币+5, ★★★很有帮助, 请假下大侠如何测？怎样才是中毒了。是否知道另外一支靶材是怎么回事？ 2013-10-15 17:16:07
去测量哈电阻，看是不是靶材中毒，是的话用砂纸打磨后在使用
赞一下 回复此楼
己所不欲，勿施于人。
4楼2013-10-15 15:33:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

八个雅鹿

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
liaofang20: 金币+5, ★★★很有帮助, 谢谢，靶中毒已经解决。 2013-10-17 14:02:55
引用回帖:
4楼: Originally posted by 八个雅鹿 at 2013-10-15 15:33:46
去测量哈电阻，看是不是靶材中毒，是的话用砂纸打磨后在使用

靶中毒就意味着不能溅射出原子，不导电。这主要是由于氧化引起的。将靶材用中频源或射频源打一两个小时，可以恢复。或者将靶材拆出来，用砂纸抛光，也可解决
赞一下 回复此楼
己所不欲，勿施于人。
5楼2013-10-17 13:53:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 10 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 E4V9bALS54sj 2026-09-19 4/200 2026-09-20 07:24 by 9i7PCSZyMzot
[论文投稿] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 E4V9bALS54sj 2026-09-19 4/200 2026-09-20 07:24 by 9i7PCSZyMzot
[硕博家园] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 E4V9bALS54sj 2026-09-19 4/200 2026-09-20 07:12 by 9i7PCSZyMzot
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 E4V9bALS54sj 2026-09-19 4/200 2026-09-20 07:12 by 9i7PCSZyMzot
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 E4V9bALS54sj 2026-09-19 4/200 2026-09-20 07:06 by 9i7PCSZyMzot
[考博] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 E4V9bALS54sj 2026-09-19 4/200 2026-09-20 07:01 by 9i7PCSZyMzot
[基金申请] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 E4V9bALS54sj 2026-09-19 4/200 2026-09-20 07:01 by 9i7PCSZyMzot
[考研] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 4pRyVGCVerAA 2026-09-19 3/150 2026-09-20 00:15 by 9i7PCSZyMzot
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 4pRyVGCVerAA 2026-09-19 4/200 2026-09-19 23:51 by 9i7PCSZyMzot
[基金申请] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 4pRyVGCVerAA 2026-09-19 4/200 2026-09-19 23:39 by 9i7PCSZyMzot
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 4pRyVGCVerAA 2026-09-19 4/200 2026-09-19 23:27 by 9i7PCSZyMzot
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 4pRyVGCVerAA 2026-09-19 4/200 2026-09-19 23:27 by 9i7PCSZyMzot
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 4pRyVGCVerAA 2026-09-19 4/200 2026-09-19 23:03 by 9i7PCSZyMzot
[公派出国] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 4pRyVGCVerAA 2026-09-18 7/350 2026-09-19 21:03 by 9i7PCSZyMzot
[教师之家] 现代”学阀”该如何界定 +3 iaeyuan 2026-09-19 3/150 2026-09-19 20:52 by 没昵称呀
[基金申请] 国社科系统bug了，是不是要放榜了？ +7 kynobel 2026-09-16 9/450 2026-09-19 14:52 by 接好运婷
[考博] 申博发邮件 +8 Lmengk 2026-09-15 9/450 2026-09-19 09:27 by 中间体超市
[有机交流] 各位大神，目前国内有哪些比较好用的逆合成软件？ 20+3 zapen 2026-09-15 9/450 2026-09-18 18:17 by zapen
[考博] 上海工程技术大学激光智能制造课题组｜2027级博士研究生招生公告 +7 水士口 2026-09-16 8/400 2026-09-16 13:47 by kkklens
[考博] 上海工程技术大学激光智能制造课题组招收博士研究生 +8 两三岁ss 2026-09-14 8/400 2026-09-16 09:46 by 水士口
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭