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jiart4476

银虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射的分子泵真空抽不上去 已有6人参与

机械泵抽20分钟才抽到5帕,开分子泵后,当分子泵正常后,抽到0.3帕后就很基本不下降了,不知道是真空计、分子泵抑或其他什么问题?恳请有经验的学长指点一下?
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独立之思考,自由之精神
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jiart4476

银虫 (正式写手)

送红花一朵
谢谢!
独立之思考,自由之精神
2楼2013-08-14 18:32:02
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255255

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
jiart4476: 金币+2, 有帮助 2013-08-14 19:04:50
机械泵20min才到5Pa,估计是机械泵该换油了,或者就是漏气
3楼2013-08-14 19:03:38
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mzhuxust

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
jiart4476(fbqrdzs代发): 金币+3, 鼓励交流 2013-08-15 08:14:11
机械泵换油,系统检漏!漏气的可能性很大!
4楼2013-08-15 00:09:20
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hongxd

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
fbqrdzs: 金币+3, 鼓励交流 2013-08-15 08:14:19
基本是漏气,最近经常做,把腔体打开好好擦擦,不行涂点真空油脂,很管用
5楼2013-08-15 00:18:24
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xiaofeng-wang

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
nofrunolif: 金币+1, 鼓励来本版交流 2013-08-30 20:38:49
应该是漏气,检查密封圈、波纹管接头、真空计接头等
呼市虫子在深圳创造奇迹!
6楼2013-08-15 08:25:45
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jiart4476

银虫 (正式写手)

检查漏气有什么简单实用的方法?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
独立之思考,自由之精神
7楼2013-08-15 09:19:32
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
7楼: Originally posted by jiart4476 at 2013-08-15 09:19:32
检查漏气有什么简单实用的方法?

肥皂泡
8楼2013-08-15 14:58:34
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crzycwx123

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
机械泵抽20分钟正常啊 是不是没真空油脂了
好男人就是我
9楼2013-08-16 14:25:13
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jiart4476

银虫 (正式写手)

你是说真空泵下面的润滑油吗?还有。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
独立之思考,自由之精神
10楼2013-08-16 22:07:11
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