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jiart4476

银虫 (正式写手)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 102.3
散金: 797
红花: 3
帖子: 774
在线: 391小时
虫号: 919628
注册: 2009-12-03
性别: GG
专业: 半导体材料

[求助] 磁控溅射的分子泵真空抽不上去已有6人参与

机械泵抽20分钟才抽到5帕，开分子泵后，当分子泵正常后，抽到0.3帕后就很基本不下降了，不知道是真空计、分子泵抑或其他什么问题？恳请有经验的学长指点一下？

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jiart4476

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独立之思考，自由之精神

1楼 2013-08-14 18:07:58

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

255255

木虫 (正式写手)

应助: 7 (幼儿园)
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红花: 1
帖子: 341
在线: 130小时
虫号: 678530
注册: 2008-12-20
专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
jiart4476: 金币+2, ★有帮助 2013-08-14 19:04:50

机械泵20min才到5Pa,估计是机械泵该换油了，或者就是漏气

3楼2013-08-14 19:03:38

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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