| 查看: 2947 | 回复: 27 | |||
[求助]
磁控溅射会不会破坏PMMA光刻胶
|
|||
| 最近在用电子束曝光做一些样品，曝光用的是PMMA光刻胶，镀电极的时候想用磁控溅射，但是听别人讲磁控溅射不是很好，但是不明白为什么。想请教一下各位，用磁控溅射镀电极是否可行？磁控溅射中辉光放电会不会对光刻胶产生影响，破坏所刻蚀的图形？谢谢！ |
回复此楼» 本帖已获得的红花（最新10朵）
小博士后» 猜你喜欢
0856材料306分调剂
已经有4人回复
-
北京航空航天大学26级博士招生-生物医学工程-合成生物学
已经有19人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有261人回复
-
温州大学王娟课题组2026年招生
已经有10人回复
-
温州大学2026年招生（化学、材料）
已经有10人回复
-
招生负责_院士团队_学生高自由度成长_擅长学生培养
已经有5人回复
-
温州大学招收2026年入学博士研究生（化学、材料、环境）
已经有10人回复
-
非晶合金
已经有2人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 请教 光刻胶PMMA 的使用
已经有7人回复
13楼2013-08-12 12:51:16
14楼2013-08-12 12:54:11
马踏冰河
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 396 (硕士)
- 金币: 7121.2
- 红花: 14
- 帖子: 2910
- 在线: 1094.7小时
- 虫号: 2453080
- 注册: 2013-05-07
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
2楼2013-08-12 08:15:34
，能不能给个标点符号~~多谢啦~~ 3楼2013-08-12 08:24:36
马踏冰河
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 396 (硕士)
- 金币: 7121.2
- 红花: 14
- 帖子: 2910
- 在线: 1094.7小时
- 虫号: 2453080
- 注册: 2013-05-07
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
4楼2013-08-12 08:27:15
5楼2013-08-12 08:29:14
马踏冰河
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 396 (硕士)
- 金币: 7121.2
- 红花: 14
- 帖子: 2910
- 在线: 1094.7小时
- 虫号: 2453080
- 注册: 2013-05-07
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
6楼2013-08-12 08:30:57
7楼2013-08-12 08:32:25
gxytju2008
专家顾问 (文坛精英)
-
专家经验: +1654 - MN-EPI: 2
- 应助: 4105 (副教授)
- 贵宾: 0.053
- 金币: 47525.7
- 散金: 4089
- 红花: 503
- 帖子: 14997
- 在线: 7315.2小时
- 虫号: 1111232
- 注册: 2010-09-29
- 性别: GG
- 专业: 材料物理化学
- 管辖: 微米和纳米
8楼2013-08-12 09:39:27
liyang617730
木虫 (著名写手)
微信公众号：CAE初行者，ID：
- 应助: 20 (小学生)
- 金币: 4794.3
- 散金: 1118
- 红花: 18
- 帖子: 1736
- 在线: 559.3小时
- 虫号: 2045708
- 注册: 2012-10-06
- 性别: GG
- 专业: 微/纳机械系统
9楼2013-08-12 09:46:50
welljay
木虫 (正式写手)
- 应助: 59 (初中生)
- 金币: 2463.6
- 散金: 2
- 红花: 3
- 沙发: 3
- 帖子: 572
- 在线: 136.9小时
- 虫号: 2099367
- 注册: 2012-11-01
- 性别: GG
- 专业: 计算机软件
10楼2013-08-12 09:57:43
