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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射会不会破坏PMMA光刻胶
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muerc

铜虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射会不会破坏PMMA光刻胶

最近在用电子束曝光做一些样品，曝光用的是PMMA光刻胶，镀电极的时候想用磁控溅射，但是听别人讲磁控溅射不是很好，但是不明白为什么。想请教一下各位，用磁控溅射镀电极是否可行？磁控溅射中辉光放电会不会对光刻胶产生影响，破坏所刻蚀的图形？谢谢！
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小博士后

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啦啦啦啦啦啦~~~~
1楼 2013-08-11 23:49:50
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muerc

铜虫 (正式写手)
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引用回帖:
9楼: Originally posted by liyang617730 at 2013-08-12 09:46:50
楼主你看啊：经电子束曝光后显影后图形已经出来了，不必再担心对光刻胶的影响了，再溅射一层金属什么的一般不会有多大影响，完了之后将多余的PMMA连同上面溅射的金属剥离掉。我们实验室以前有人做过，效果还行，你先 ...

真的啊，哈哈，谢谢啦！！我今天问了一下一个老师，他说可以做，但是厚度不能太厚了。你们那边做的多厚？
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啦啦啦啦啦啦~~~~
13楼2013-08-12 12:51:16
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muerc

铜虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
10楼: Originally posted by welljay at 2013-08-12 09:57:43
你用磁控打电极可能会把胶给打掉的，即便打不掉镀完之后由于它致密性不好，电极接触也会很差的。直接做个配套的mask呗，打上就直接是所需的电极啦（这样就不要光刻了）

磁控的致密性不是应该好一些的吗，怎么会这样……没试过啊。你讲左一个mask那种的，器件怎么组装呢？
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啦啦啦啦啦啦~~~~
14楼2013-08-12 12:54:11
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普通回帖

马踏冰河

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
辉光应该会光刻鄙视都在暗条件下或特种光源下完成的吗影响光刻吧
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muerc
2楼2013-08-12 08:15:34
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muerc

铜虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 马踏冰河 at 2013-08-12 08:15:34
辉光应该会光刻鄙视都在暗条件下或特种光源下完成的吗影响光刻吧

大哥，没看懂啊，能不能给个标点符号~~多谢啦~~
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啦啦啦啦啦啦~~~~
3楼2013-08-12 08:24:36
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马踏冰河

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by muerc at 2013-08-12 08:24:36
大哥，没看懂啊，能不能给个标点符号~~多谢啦~~...

打错字了，辉光应该会影响光刻 ，光刻不是都在暗条件下或特种光源下完成的吗
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4楼2013-08-12 08:27:15
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muerc

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 马踏冰河 at 2013-08-12 08:27:15
打错字了，辉光应该会影响光刻 ，光刻不是都在暗条件下或特种光源下完成的吗...

哦，那就是说不能用磁控溅射镀电极了吧，头疼啊！
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啦啦啦啦啦啦~~~~
5楼2013-08-12 08:29:14
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马踏冰河

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
muerc: 金币+5, ★有帮助 2013-08-12 08:32:41
引用回帖:
5楼: Originally posted by muerc at 2013-08-12 08:29:14
哦，那就是说不能用磁控溅射镀电极了吧，头疼啊！...

你可以再问问别人  这只是我个人观点  看别人有什么好建议没有
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6楼2013-08-12 08:30:57
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muerc

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 马踏冰河 at 2013-08-12 08:30:57
你可以再问问别人  这只是我个人观点  看别人有什么好建议没有...

恩，好的，谢谢啦！
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啦啦啦啦啦啦~~~~
7楼2013-08-12 08:32:25
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
貌似可以先镀导电层在做pattern，具体不太清楚，做电镜时看过有个人这么做的
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8楼2013-08-12 09:39:27
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liyang617730

木虫 (著名写手)

微信公众号：CAE初行者，ID：

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
muerc: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-08-12 12:51:20
楼主你看啊：经电子束曝光后显影后图形已经出来了，不必再担心对光刻胶的影响了，再溅射一层金属什么的一般不会有多大影响，完了之后将多余的PMMA连同上面溅射的金属剥离掉。我们实验室以前有人做过，效果还行，你先试试
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muerc
微信公众号：CAE初行者，ID：cae_cxz
9楼2013-08-12 09:46:50
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welljay

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你用磁控打电极可能会把胶给打掉的，即便打不掉镀完之后由于它致密性不好，电极接触也会很差的。直接做个配套的mask呗，打上就直接是所需的电极啦（这样就不要光刻了）
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muerc
10楼2013-08-12 09:57:43
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