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磁控溅射会不会破坏PMMA光刻胶
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| 最近在用电子束曝光做一些样品，曝光用的是PMMA光刻胶，镀电极的时候想用磁控溅射，但是听别人讲磁控溅射不是很好，但是不明白为什么。想请教一下各位，用磁控溅射镀电极是否可行？磁控溅射中辉光放电会不会对光刻胶产生影响，破坏所刻蚀的图形？谢谢！ |
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13楼2013-08-12 12:51:16
14楼2013-08-12 12:54:11
马踏冰河
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2楼2013-08-12 08:15:34
，能不能给个标点符号~~多谢啦~~ 3楼2013-08-12 08:24:36
马踏冰河
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4楼2013-08-12 08:27:15
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马踏冰河
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8楼2013-08-12 09:39:27
liyang617730
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9楼2013-08-12 09:46:50
welljay
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