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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射会不会破坏PMMA光刻胶
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muerc

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
20楼: Originally posted by 大水杯 at 2013-08-13 21:17:32
可以在低的溅射功率下试试

恩，准备试试的，谢谢啦！
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啦啦啦啦啦啦~~~~
21楼2013-08-14 08:27:35
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liyang617730

木虫 (著名写手)

微信公众号：CAE初行者，ID：

引用回帖:
13楼: Originally posted by muerc at 2013-08-12 12:51:16
真的啊，哈哈，谢谢啦！！我今天问了一下一个老师，他说可以做，但是厚度不能太厚了。你们那边做的多厚？...

差不多100~200nm，溅射有厚度上限的，太厚了老师不给做
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微信公众号：CAE初行者，ID：cae_cxz
22楼2013-08-14 09:32:41
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muerc

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
22楼: Originally posted by liyang617730 at 2013-08-14 09:32:41
差不多100~200nm，溅射有厚度上限的，太厚了老师不给做...

这么厚也可以啊！之前问的那个老师他说他只做过50nm的，再厚的没做过，怕把图形给破坏了。我先去试试看吧，谢谢啦！
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啦啦啦啦啦啦~~~~
23楼2013-08-14 09:40:16
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liyang617730

木虫 (著名写手)

微信公众号：CAE初行者，ID：

引用回帖:
23楼: Originally posted by muerc at 2013-08-14 09:40:16
这么厚也可以啊！之前问的那个老师他说他只做过50nm的，再厚的没做过，怕把图形给破坏了。我先去试试看吧，谢谢啦！...

你先试试！不同的光刻胶效果肯定会有所不同，可以摸索着做几次，找一个最佳的溅射厚度，祝你好运！
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微信公众号：CAE初行者，ID：cae_cxz
24楼2013-08-14 09:53:35
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muerc

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
24楼: Originally posted by liyang617730 at 2013-08-14 09:53:35
你先试试！不同的光刻胶效果肯定会有所不同，可以摸索着做几次，找一个最佳的溅射厚度，祝你好运！...

恩，3q~
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啦啦啦啦啦啦~~~~
25楼2013-08-14 10:23:06
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小博士后

捐助贵宾 (小有名气)
送红花一朵
可以的，电子束光刻胶也能做剥离工艺。
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26楼2013-11-17 16:35:15
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dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家
不热就没问题。
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27楼2013-12-04 13:27:10
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一毫米www

禁虫
本帖内容被屏蔽
28楼2023-04-23 15:59:22
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