磁控溅射会不会破坏PMMA光刻胶 - 微米和纳米 - 微纳加工 - 第3页小木虫论坛-学术科研互动平台

啦啦啦啦啦啦~~~~

21楼2013-08-14 08:27:35

liyang617730

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13楼: Originally posted by muerc at 2013-08-12 12:51:16
真的啊，哈哈，谢谢啦！！我今天问了一下一个老师，他说可以做，但是厚度不能太厚了。你们那边做的多厚？...

差不多100~200nm，溅射有厚度上限的，太厚了老师不给做

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22楼2013-08-14 09:32:41

muerc

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22楼: Originally posted by liyang617730 at 2013-08-14 09:32:41
差不多100~200nm，溅射有厚度上限的，太厚了老师不给做...

这么厚也可以啊！之前问的那个老师他说他只做过50nm的，再厚的没做过，怕把图形给破坏了。我先去试试看吧，谢谢啦！

啦啦啦啦啦啦~~~~

23楼2013-08-14 09:40:16

liyang617730

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23楼: Originally posted by muerc at 2013-08-14 09:40:16
这么厚也可以啊！之前问的那个老师他说他只做过50nm的，再厚的没做过，怕把图形给破坏了。我先去试试看吧，谢谢啦！...

你先试试！不同的光刻胶效果肯定会有所不同，可以摸索着做几次，找一个最佳的溅射厚度，祝你好运！

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24楼2013-08-14 09:53:35

muerc

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24楼: Originally posted by liyang617730 at 2013-08-14 09:53:35
你先试试！不同的光刻胶效果肯定会有所不同，可以摸索着做几次，找一个最佳的溅射厚度，祝你好运！...

恩，3q~

啦啦啦啦啦啦~~~~

25楼2013-08-14 10:23:06

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送红花一朵

可以的，电子束光刻胶也能做剥离工艺。

26楼2013-11-17 16:35:15

dearmaximus

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不热就没问题。

27楼2013-12-04 13:27:10

一毫米www

禁虫

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28楼2023-04-23 15:59:22