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muerc

铜虫 (正式写手)

引用回帖:
20楼: Originally posted by 大水杯 at 2013-08-13 21:17:32
可以在低的溅射功率下试试

恩,准备试试的,谢谢啦!
啦啦啦啦啦啦~~~~
21楼2013-08-14 08:27:35
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liyang617730

木虫 (著名写手)

微信公众号:CAE初行者,ID:

引用回帖:
13楼: Originally posted by muerc at 2013-08-12 12:51:16
真的啊,哈哈,谢谢啦!!我今天问了一下一个老师,他说可以做,但是厚度不能太厚了。你们那边做的多厚?...

差不多100~200nm,溅射有厚度上限的,太厚了老师不给做
微信公众号:CAE初行者,ID:cae_cxz
22楼2013-08-14 09:32:41
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muerc

铜虫 (正式写手)

引用回帖:
22楼: Originally posted by liyang617730 at 2013-08-14 09:32:41
差不多100~200nm,溅射有厚度上限的,太厚了老师不给做...

这么厚也可以啊!之前问的那个老师他说他只做过50nm的,再厚的没做过,怕把图形给破坏了。我先去试试看吧,谢谢啦!
啦啦啦啦啦啦~~~~
23楼2013-08-14 09:40:16
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liyang617730

木虫 (著名写手)

微信公众号:CAE初行者,ID:

引用回帖:
23楼: Originally posted by muerc at 2013-08-14 09:40:16
这么厚也可以啊!之前问的那个老师他说他只做过50nm的,再厚的没做过,怕把图形给破坏了。我先去试试看吧,谢谢啦!...

你先试试!不同的光刻胶效果肯定会有所不同,可以摸索着做几次,找一个最佳的溅射厚度,祝你好运!
微信公众号:CAE初行者,ID:cae_cxz
24楼2013-08-14 09:53:35
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muerc

铜虫 (正式写手)

引用回帖:
24楼: Originally posted by liyang617730 at 2013-08-14 09:53:35
你先试试!不同的光刻胶效果肯定会有所不同,可以摸索着做几次,找一个最佳的溅射厚度,祝你好运!...

恩,3q~
啦啦啦啦啦啦~~~~
25楼2013-08-14 10:23:06
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小博士后

捐助贵宾 (小有名气)


送红花一朵
可以的,电子束光刻胶也能做剥离工艺。
26楼2013-11-17 16:35:15
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dearmaximus

金虫 (正式写手)

迷途小书童/二手科学家

不热就没问题。
27楼2013-12-04 13:27:10
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本帖内容被屏蔽

28楼2023-04-23 15:59:22
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