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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射会不会破坏PMMA光刻胶
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在自己的王国

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
会有影响的，特别是溅射时间比较长，功率比较大的情况下，等离子体会对光刻胶有刻蚀的，建议用电子束蒸发镀电极
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muerc
11楼2013-08-12 12:03:29
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muerc

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by gxytju2008 at 2013-08-12 09:39:27
貌似可以先镀导电层在做pattern，具体不太清楚，做电镜时看过有个人这么做的

这样做的话和器件接触不好吧，而且比较随即哦
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啦啦啦啦啦啦~~~~
12楼2013-08-12 12:50:06
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muerc

铜虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
9楼: Originally posted by liyang617730 at 2013-08-12 09:46:50
楼主你看啊：经电子束曝光后显影后图形已经出来了，不必再担心对光刻胶的影响了，再溅射一层金属什么的一般不会有多大影响，完了之后将多余的PMMA连同上面溅射的金属剥离掉。我们实验室以前有人做过，效果还行，你先 ...

真的啊，哈哈，谢谢啦！！我今天问了一下一个老师，他说可以做，但是厚度不能太厚了。你们那边做的多厚？
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啦啦啦啦啦啦~~~~
13楼2013-08-12 12:51:16
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muerc

铜虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
10楼: Originally posted by welljay at 2013-08-12 09:57:43
你用磁控打电极可能会把胶给打掉的，即便打不掉镀完之后由于它致密性不好，电极接触也会很差的。直接做个配套的mask呗，打上就直接是所需的电极啦（这样就不要光刻了）

磁控的致密性不是应该好一些的吗，怎么会这样……没试过啊。你讲左一个mask那种的，器件怎么组装呢？
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啦啦啦啦啦啦~~~~
14楼2013-08-12 12:54:11
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muerc

铜虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
11楼: Originally posted by 在自己的王国 at 2013-08-12 12:03:29
会有影响的，特别是溅射时间比较长，功率比较大的情况下，等离子体会对光刻胶有刻蚀的，建议用电子束蒸发镀电极

我之前也是用电子束蒸镀的，但是用的是别人的，他们只有一种靶材，所以我想能不能用磁控做一下。这个对光刻胶的刻蚀很严重吗？
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啦啦啦啦啦啦~~~~
15楼2013-08-12 12:57:17
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welljay

木虫 (正式写手)
引用回帖:
14楼: Originally posted by muerc at 2013-08-12 12:54:11
磁控的致密性不是应该好一些的吗，怎么会这样……没试过啊。你讲左一个mask那种的，器件怎么组装呢？...

电极材料好的话，致密性可以忽略的，mask就是你所需的电极图形（一个正方形铜片，刻上所需图形孔，放在器件上），直接打上去电极，就不用光刻再洗电极那么麻烦了
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16楼2013-08-12 17:25:43
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在自己的王国

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
15楼: Originally posted by muerc at 2013-08-12 12:57:17
我之前也是用电子束蒸镀的，但是用的是别人的，他们只有一种靶材，所以我想能不能用磁控做一下。这个对光刻胶的刻蚀很严重吗？...

得看具体做磁控的条件，但是多少都会有些影响的
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17楼2013-08-13 11:39:54
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muerc

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
16楼: Originally posted by welljay at 2013-08-12 17:25:43
电极材料好的话，致密性可以忽略的，mask就是你所需的电极图形（一个正方形铜片，刻上所需图形孔，放在器件上），直接打上去电极，就不用光刻再洗电极那么麻烦了...

你讲的这种mask的方法我是想过，但是没试过，感觉操作起来有一定的难度。如果只要一个器件 ，那就可以，但是一次不可能只做一个啊……这个想法我要在考虑考虑。你们有这个做过吗？具体怎么实施的能不能给讲细一些啊~~谢谢啦！
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啦啦啦啦啦啦~~~~
18楼2013-08-13 15:10:31
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muerc

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
17楼: Originally posted by 在自己的王国 at 2013-08-13 11:39:54
得看具体做磁控的条件，但是多少都会有些影响的...

恩，我先试试看效果吧！谢谢啦！
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啦啦啦啦啦啦~~~~
19楼2013-08-13 15:11:45
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大水杯

木虫 (著名写手)

小虫
可以在低的溅射功率下试试
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^V^
20楼2013-08-13 21:17:32
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