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在自己的王国

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
会有影响的,特别是溅射时间比较长,功率比较大的情况下,等离子体会对光刻胶有刻蚀的,建议用电子束蒸发镀电极

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

11楼2013-08-12 12:03:29
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muerc

铜虫 (正式写手)

引用回帖:
8楼: Originally posted by gxytju2008 at 2013-08-12 09:39:27
貌似可以先镀导电层在做pattern,具体不太清楚,做电镜时看过有个人这么做的

这样做的话和器件接触不好吧,而且比较随即哦
啦啦啦啦啦啦~~~~
12楼2013-08-12 12:50:06
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muerc

铜虫 (正式写手)

送红花一朵
引用回帖:
9楼: Originally posted by liyang617730 at 2013-08-12 09:46:50
楼主你看啊:经电子束曝光后显影后图形已经出来了,不必再担心对光刻胶的影响了,再溅射一层金属什么的一般不会有多大影响,完了之后将多余的PMMA连同上面溅射的金属剥离掉。我们实验室以前有人做过,效果还行,你先 ...

真的啊,哈哈,谢谢啦!!我今天问了一下一个老师,他说可以做,但是厚度不能太厚了。你们那边做的多厚?
啦啦啦啦啦啦~~~~
13楼2013-08-12 12:51:16
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muerc

铜虫 (正式写手)

送红花一朵
引用回帖:
10楼: Originally posted by welljay at 2013-08-12 09:57:43
你用磁控打电极可能会把胶给打掉的,即便打不掉镀完之后由于它致密性不好,电极接触也会很差的。直接做个配套的mask呗,打上就直接是所需的电极啦(这样就不要光刻了)

磁控的致密性不是应该好一些的吗,怎么会这样……没试过啊。你讲左一个mask那种的,器件怎么组装呢?
啦啦啦啦啦啦~~~~
14楼2013-08-12 12:54:11
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muerc

铜虫 (正式写手)

送红花一朵
引用回帖:
11楼: Originally posted by 在自己的王国 at 2013-08-12 12:03:29
会有影响的,特别是溅射时间比较长,功率比较大的情况下,等离子体会对光刻胶有刻蚀的,建议用电子束蒸发镀电极

我之前也是用电子束蒸镀的,但是用的是别人的,他们只有一种靶材,所以我想能不能用磁控做一下。这个对光刻胶的刻蚀很严重吗?
啦啦啦啦啦啦~~~~
15楼2013-08-12 12:57:17
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welljay

木虫 (正式写手)

引用回帖:
14楼: Originally posted by muerc at 2013-08-12 12:54:11
磁控的致密性不是应该好一些的吗,怎么会这样……没试过啊。你讲左一个mask那种的,器件怎么组装呢?...

电极材料好的话,致密性可以忽略的,mask就是你所需的电极图形(一个正方形铜片,刻上所需图形孔,放在器件上),直接打上去电极,就不用光刻再洗电极那么麻烦了
16楼2013-08-12 17:25:43
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在自己的王国

铁杆木虫 (正式写手)

引用回帖:
15楼: Originally posted by muerc at 2013-08-12 12:57:17
我之前也是用电子束蒸镀的,但是用的是别人的,他们只有一种靶材,所以我想能不能用磁控做一下。这个对光刻胶的刻蚀很严重吗?...

得看具体做磁控的条件,但是多少都会有些影响的
17楼2013-08-13 11:39:54
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muerc

铜虫 (正式写手)

引用回帖:
16楼: Originally posted by welljay at 2013-08-12 17:25:43
电极材料好的话,致密性可以忽略的,mask就是你所需的电极图形(一个正方形铜片,刻上所需图形孔,放在器件上),直接打上去电极,就不用光刻再洗电极那么麻烦了...

你讲的这种mask的方法我是想过,但是没试过,感觉操作起来有一定的难度。如果只要一个器件 ,那就可以,但是一次不可能只做一个啊……这个想法我要在考虑考虑。你们有这个做过吗?具体怎么实施的能不能给讲细一些啊~~谢谢啦!
啦啦啦啦啦啦~~~~
18楼2013-08-13 15:10:31
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muerc

铜虫 (正式写手)

引用回帖:
17楼: Originally posted by 在自己的王国 at 2013-08-13 11:39:54
得看具体做磁控的条件,但是多少都会有些影响的...

恩,我先试试看效果吧!谢谢啦!
啦啦啦啦啦啦~~~~
19楼2013-08-13 15:11:45
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大水杯

木虫 (著名写手)

小虫

可以在低的溅射功率下试试
^V^
20楼2013-08-13 21:17:32
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