应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射会不会破坏PMMA光刻胶
282/3返回列表上一页123下一页
查看: 3521  |  回复: 27
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

在自己的王国

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
会有影响的，特别是溅射时间比较长，功率比较大的情况下，等离子体会对光刻胶有刻蚀的，建议用电子束蒸发镀电极
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

muerc
11楼2013-08-12 12:03:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

muerc

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by gxytju2008 at 2013-08-12 09:39:27
貌似可以先镀导电层在做pattern，具体不太清楚，做电镜时看过有个人这么做的

这样做的话和器件接触不好吧，而且比较随即哦
赞一下 回复此楼
啦啦啦啦啦啦~~~~
12楼2013-08-12 12:50:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

muerc

铜虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
9楼: Originally posted by liyang617730 at 2013-08-12 09:46:50
楼主你看啊：经电子束曝光后显影后图形已经出来了，不必再担心对光刻胶的影响了，再溅射一层金属什么的一般不会有多大影响，完了之后将多余的PMMA连同上面溅射的金属剥离掉。我们实验室以前有人做过，效果还行，你先 ...

真的啊，哈哈，谢谢啦！！我今天问了一下一个老师，他说可以做，但是厚度不能太厚了。你们那边做的多厚？
赞一下(1人) 回复此楼
啦啦啦啦啦啦~~~~
13楼2013-08-12 12:51:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

muerc

铜虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
10楼: Originally posted by welljay at 2013-08-12 09:57:43
你用磁控打电极可能会把胶给打掉的，即便打不掉镀完之后由于它致密性不好，电极接触也会很差的。直接做个配套的mask呗，打上就直接是所需的电极啦（这样就不要光刻了）

磁控的致密性不是应该好一些的吗，怎么会这样……没试过啊。你讲左一个mask那种的，器件怎么组装呢？
赞一下(1人) 回复此楼
啦啦啦啦啦啦~~~~
14楼2013-08-12 12:54:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

muerc

铜虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
11楼: Originally posted by 在自己的王国 at 2013-08-12 12:03:29
会有影响的，特别是溅射时间比较长，功率比较大的情况下，等离子体会对光刻胶有刻蚀的，建议用电子束蒸发镀电极

我之前也是用电子束蒸镀的，但是用的是别人的，他们只有一种靶材，所以我想能不能用磁控做一下。这个对光刻胶的刻蚀很严重吗？
赞一下 回复此楼
啦啦啦啦啦啦~~~~
15楼2013-08-12 12:57:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

welljay

木虫 (正式写手)
引用回帖:
14楼: Originally posted by muerc at 2013-08-12 12:54:11
磁控的致密性不是应该好一些的吗，怎么会这样……没试过啊。你讲左一个mask那种的，器件怎么组装呢？...

电极材料好的话，致密性可以忽略的，mask就是你所需的电极图形（一个正方形铜片，刻上所需图形孔，放在器件上），直接打上去电极，就不用光刻再洗电极那么麻烦了
赞一下 回复此楼
16楼2013-08-12 17:25:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

在自己的王国

铁杆木虫 (正式写手)
引用回帖:
15楼: Originally posted by muerc at 2013-08-12 12:57:17
我之前也是用电子束蒸镀的，但是用的是别人的，他们只有一种靶材，所以我想能不能用磁控做一下。这个对光刻胶的刻蚀很严重吗？...

得看具体做磁控的条件，但是多少都会有些影响的
赞一下 回复此楼
17楼2013-08-13 11:39:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

muerc

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
16楼: Originally posted by welljay at 2013-08-12 17:25:43
电极材料好的话，致密性可以忽略的，mask就是你所需的电极图形（一个正方形铜片，刻上所需图形孔，放在器件上），直接打上去电极，就不用光刻再洗电极那么麻烦了...

你讲的这种mask的方法我是想过，但是没试过，感觉操作起来有一定的难度。如果只要一个器件 ，那就可以，但是一次不可能只做一个啊……这个想法我要在考虑考虑。你们有这个做过吗？具体怎么实施的能不能给讲细一些啊~~谢谢啦！
赞一下 回复此楼
啦啦啦啦啦啦~~~~
18楼2013-08-13 15:10:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

muerc

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
17楼: Originally posted by 在自己的王国 at 2013-08-13 11:39:54
得看具体做磁控的条件，但是多少都会有些影响的...

恩，我先试试看效果吧！谢谢啦！
赞一下 回复此楼
啦啦啦啦啦啦~~~~
19楼2013-08-13 15:11:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

大水杯

木虫 (著名写手)

小虫
可以在低的溅射功率下试试
赞一下 回复此楼
^V^
20楼2013-08-13 21:17:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 muerc 的主题更新
282/3返回列表上一页123下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考博] 考博求助 10+3 社会实践对别 2026-11-08 3/150 2026-11-13 14:04 by 沐小虫252
[考博] 27博士 +5 锦鲤送福至 2026-11-10 5/250 2026-11-13 06:22 by wlf1982
[考博] 27博士申请 +5 白白白ly 2026-11-09 5/250 2026-11-13 05:01 by wlf1982
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 Z7qfCsdIiD1T 2026-11-11 5/250 2026-11-12 11:44 by HajghKOMynmz
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4 Z7qfCsdIiD1T 2026-11-10 7/350 2026-11-12 11:22 by HajghKOMynmz
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +5 czAiolzR0IJC 2026-11-10 7/350 2026-11-12 11:09 by HajghKOMynmz
[基金申请] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 czAiolzR0IJC 2026-11-10 8/400 2026-11-12 11:00 by HajghKOMynmz
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 czAiolzR0IJC 2026-11-10 6/300 2026-11-12 11:00 by HajghKOMynmz
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 G2rhSvqvhNzl 2026-11-10 6/300 2026-11-12 10:38 by HajghKOMynmz
[公派出国] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 C6CRn66RYYXS 2026-11-10 8/400 2026-11-12 10:27 by HajghKOMynmz
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +7 FChKX8meu1ds 2026-11-09 9/450 2026-11-12 10:03 by HajghKOMynmz
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +6 FChKX8meu1ds 2026-11-09 8/400 2026-11-12 09:41 by HajghKOMynmz
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +8 zSbvVX9JFl9J 2026-11-09 12/600 2026-11-12 09:21 by HajghKOMynmz
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 TgvkbZZl9tqB 2026-11-11 4/200 2026-11-12 08:15 by HajghKOMynmz
[论文投稿] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 cdqGD6ftHmbl 2026-11-11 3/150 2026-11-12 07:53 by HajghKOMynmz
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 czAiolzR0IJC 2026-11-10 5/250 2026-11-12 06:36 by 9fOTqj074tIg
[硕博家园] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 G2rhSvqvhNzl 2026-11-10 5/250 2026-11-12 06:14 by 9fOTqj074tIg
[基金申请] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 FChKX8meu1ds 2026-11-09 7/350 2026-11-12 05:30 by 9fOTqj074tIg
[硕博家园] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +6 0TEMgxdT1eIw 2026-11-09 9/450 2026-11-12 04:57 by 9fOTqj074tIg
[文学芳草园] 厉娜 +3 张丹枫1991 2026-11-09 5/250 2026-11-09 16:53 by 张丹枫1991
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭