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铜虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射会不会破坏PMMA光刻胶

最近在用电子束曝光做一些样品，曝光用的是PMMA光刻胶，镀电极的时候想用磁控溅射，但是听别人讲磁控溅射不是很好，但是不明白为什么。想请教一下各位，用磁控溅射镀电极是否可行？磁控溅射中辉光放电会不会对光刻胶产生影响，破坏所刻蚀的图形？谢谢！

小博士后

啦啦啦啦啦啦~~~~

1楼 2013-08-11 23:49:50

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木虫 (正式写手)

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你用磁控打电极可能会把胶给打掉的，即便打不掉镀完之后由于它致密性不好，电极接触也会很差的。直接做个配套的mask呗，打上就直接是所需的电极啦（这样就不要光刻了）

muerc

10楼2013-08-12 09:57:43

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木虫 (正式写手)

引用回帖:

14楼: Originally posted by muerc at 2013-08-12 12:54:11
磁控的致密性不是应该好一些的吗，怎么会这样……没试过啊。你讲左一个mask那种的，器件怎么组装呢？...

电极材料好的话，致密性可以忽略的，mask就是你所需的电极图形（一个正方形铜片，刻上所需图形孔，放在器件上），直接打上去电极，就不用光刻再洗电极那么麻烦了

16楼2013-08-12 17:25:43

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