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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射会不会破坏PMMA光刻胶
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muerc

铜虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射会不会破坏PMMA光刻胶

最近在用电子束曝光做一些样品，曝光用的是PMMA光刻胶，镀电极的时候想用磁控溅射，但是听别人讲磁控溅射不是很好，但是不明白为什么。想请教一下各位，用磁控溅射镀电极是否可行？磁控溅射中辉光放电会不会对光刻胶产生影响，破坏所刻蚀的图形？谢谢！
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小博士后

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啦啦啦啦啦啦~~~~
1楼 2013-08-11 23:49:50
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
貌似可以先镀导电层在做pattern，具体不太清楚，做电镜时看过有个人这么做的
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8楼2013-08-12 09:39:27
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马踏冰河

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
辉光应该会光刻鄙视都在暗条件下或特种光源下完成的吗影响光刻吧
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muerc
2楼2013-08-12 08:15:34
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muerc

铜虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 马踏冰河 at 2013-08-12 08:15:34
辉光应该会光刻鄙视都在暗条件下或特种光源下完成的吗影响光刻吧

大哥，没看懂啊，能不能给个标点符号~~多谢啦~~
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啦啦啦啦啦啦~~~~
3楼2013-08-12 08:24:36
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马踏冰河

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by muerc at 2013-08-12 08:24:36
大哥，没看懂啊，能不能给个标点符号~~多谢啦~~...

打错字了，辉光应该会影响光刻 ，光刻不是都在暗条件下或特种光源下完成的吗
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4楼2013-08-12 08:27:15
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