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磁控溅射会不会破坏PMMA光刻胶
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| 最近在用电子束曝光做一些样品，曝光用的是PMMA光刻胶，镀电极的时候想用磁控溅射，但是听别人讲磁控溅射不是很好，但是不明白为什么。想请教一下各位，用磁控溅射镀电极是否可行？磁控溅射中辉光放电会不会对光刻胶产生影响，破坏所刻蚀的图形？谢谢！ |
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26楼2013-11-17 16:35:15