| 查看: 2808 | 回复: 27 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
muerc铜虫 (正式写手)
|
[求助]
磁控溅射会不会破坏PMMA光刻胶
|
|
| 最近在用电子束曝光做一些样品，曝光用的是PMMA光刻胶，镀电极的时候想用磁控溅射，但是听别人讲磁控溅射不是很好，但是不明白为什么。想请教一下各位，用磁控溅射镀电极是否可行？磁控溅射中辉光放电会不会对光刻胶产生影响，破坏所刻蚀的图形？谢谢！ |
回复此楼» 本帖已获得的红花（最新10朵）
小博士后» 猜你喜欢
请问对标matlab的开源软件octave的网站https://octave.org为什么打不开？
已经有0人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有266人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 请教 光刻胶PMMA 的使用
已经有7人回复
muerc
铜虫 (正式写手)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 2949.5
- 散金: 96
- 红花: 4
- 帖子: 303
- 在线: 229.4小时
- 虫号: 1525208
- 注册: 2011-12-05
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
5楼2013-08-12 08:29:14
马踏冰河
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 396 (硕士)
- 金币: 7116.2
- 红花: 14
- 帖子: 2909
- 在线: 1094.7小时
- 虫号: 2453080
- 注册: 2013-05-07
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
2楼2013-08-12 08:15:34
muerc
铜虫 (正式写手)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 2949.5
- 散金: 96
- 红花: 4
- 帖子: 303
- 在线: 229.4小时
- 虫号: 1525208
- 注册: 2011-12-05
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
，能不能给个标点符号~~多谢啦~~ 3楼2013-08-12 08:24:36
马踏冰河
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 396 (硕士)
- 金币: 7116.2
- 红花: 14
- 帖子: 2909
- 在线: 1094.7小时
- 虫号: 2453080
- 注册: 2013-05-07
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
4楼2013-08-12 08:27:15