应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射会不会破坏PMMA光刻胶
51/1返回列表
查看: 3367  |  回复: 27
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

muerc

铜虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射会不会破坏PMMA光刻胶

最近在用电子束曝光做一些样品，曝光用的是PMMA光刻胶，镀电极的时候想用磁控溅射，但是听别人讲磁控溅射不是很好，但是不明白为什么。想请教一下各位，用磁控溅射镀电极是否可行？磁控溅射中辉光放电会不会对光刻胶产生影响，破坏所刻蚀的图形？谢谢！
回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

小博士后

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
啦啦啦啦啦啦~~~~
1楼 2013-08-11 23:49:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

muerc

铜虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 马踏冰河 at 2013-08-12 08:27:15
打错字了，辉光应该会影响光刻 ，光刻不是都在暗条件下或特种光源下完成的吗...

哦，那就是说不能用磁控溅射镀电极了吧，头疼啊！
赞一下 回复此楼
啦啦啦啦啦啦~~~~
5楼2013-08-12 08:29:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 28 个回答

马踏冰河

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
辉光应该会光刻鄙视都在暗条件下或特种光源下完成的吗影响光刻吧
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

muerc
2楼2013-08-12 08:15:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

muerc

铜虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 马踏冰河 at 2013-08-12 08:15:34
辉光应该会光刻鄙视都在暗条件下或特种光源下完成的吗影响光刻吧

大哥，没看懂啊，能不能给个标点符号~~多谢啦~~
赞一下 回复此楼
啦啦啦啦啦啦~~~~
3楼2013-08-12 08:24:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

马踏冰河

铁杆木虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by muerc at 2013-08-12 08:24:36
大哥，没看懂啊，能不能给个标点符号~~多谢啦~~...

打错字了，辉光应该会影响光刻 ，光刻不是都在暗条件下或特种光源下完成的吗
赞一下 回复此楼
4楼2013-08-12 08:27:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 28 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 2026年的国家社科基金项目通讯评审的新规则与新动向、新挑战 +4 process2012 2026-08-23 5/250 2026-08-23 19:58 by jurkat.1640
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 4/200 2026-08-23 19:34 by lXgU0RvNTDC9
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 6/300 2026-08-23 19:34 by lXgU0RvNTDC9
[论文投稿] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-21 8/400 2026-08-23 18:58 by lXgU0RvNTDC9
[论文投稿] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 2JOx3r2CYEgw 2026-08-21 9/450 2026-08-23 18:46 by lXgU0RvNTDC9
[论文投稿] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 DpSrDtM079iu 2026-08-22 3/150 2026-08-23 15:33 by KM5EcsNQRBPn
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 DpSrDtM079iu 2026-08-22 4/200 2026-08-23 15:30 by KM5EcsNQRBPn
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 h4CP7TrQR8Lg 2026-08-22 5/250 2026-08-23 12:09 by LR9qGULyN2ew
[基金申请] 让我中一个面上吧！ +12 大萍1987 2026-08-20 14/700 2026-08-23 10:30 by wrm
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 DpSrDtM079iu 2026-08-22 5/250 2026-08-23 04:07 by OEbVnUOu01ol
[论文投稿] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 2JOx3r2CYEgw 2026-08-22 4/200 2026-08-23 04:04 by OEbVnUOu01ol
[基金申请] 范进中举一文的中心思想 +3 炎黄贵胄 2026-08-22 4/200 2026-08-22 20:02 by mycsru
[基金申请] filecode，4个jtjc了 +13 ziyangfang 2026-08-19 16/800 2026-08-22 17:08 by WH3796
[基金申请] 今天基金会出结果吗？20260819 +16 kkkl_v 2026-08-19 17/850 2026-08-22 16:12 by 阿布Abu
[基金申请] 放榜前的不淡定 40+4 snowwithsea 2026-08-19 14/700 2026-08-21 23:51 by cratir
[基金申请] 今日不放榜？网传国自然预计 8 月 27 日可查结果 +16 医学老男孩 2026-08-20 20/1000 2026-08-21 21:13 by Ldrop2023
[基金申请] 时间戳又变了 +13 wuchongjun 2026-08-20 19/950 2026-08-21 17:21 by 紫杉醇
[基金申请] 重要消息，中午系统在维护 +11 yuleib84 2026-08-18 12/600 2026-08-20 11:09 by xskun
[基金申请] 朋友圈看到的 +6 wangzilk 2026-08-18 8/400 2026-08-19 10:55 by Haru815
[基金申请] 明天放榜？ +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭