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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 其它 » 磁控溅射的分子泵真空抽不上去
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jiart4476

银虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射的分子泵真空抽不上去已有6人参与

机械泵抽20分钟才抽到5帕，开分子泵后，当分子泵正常后，抽到0.3帕后就很基本不下降了，不知道是真空计、分子泵抑或其他什么问题？恳请有经验的学长指点一下？
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jiart4476

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独立之思考，自由之精神
1楼2013-08-14 18:07:58
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crzycwx123

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
机械泵抽20分钟正常啊 是不是没真空油脂了
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好男人就是我
9楼2013-08-16 14:25:13
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255255

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
jiart4476: 金币+2, ★有帮助 2013-08-14 19:04:50
机械泵20min才到5Pa,估计是机械泵该换油了，或者就是漏气
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3楼2013-08-14 19:03:38
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mzhuxust

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
jiart4476(fbqrdzs代发): 金币+3, 鼓励交流 2013-08-15 08:14:11
机械泵换油，系统检漏！漏气的可能性很大！
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4楼2013-08-15 00:09:20
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hongxd

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
fbqrdzs: 金币+3, 鼓励交流 2013-08-15 08:14:19
基本是漏气，最近经常做，把腔体打开好好擦擦，不行涂点真空油脂，很管用
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5楼2013-08-15 00:18:24
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