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磁控溅射的分子泵真空抽不上去 已有6人参与
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| 机械泵抽20分钟才抽到5帕，开分子泵后，当分子泵正常后，抽到0.3帕后就很基本不下降了，不知道是真空计、分子泵抑或其他什么问题？恳请有经验的学长指点一下？ |
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2楼2013-08-14 18:32:02
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4楼2013-08-15 00:09:20
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5楼2013-08-15 00:18:24
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