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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 其它 » 磁控溅射的分子泵真空抽不上去
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qwcmos

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
10楼: Originally posted by jiart4476 at 2013-08-16 22:07:11
你是说真空泵下面的润滑油吗？还有。

机械泵里的油。
你的肯定是漏气，用检漏仪检漏吧。
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11楼2013-08-30 15:34:22
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cishitianya

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

不知道是不是与腔室大小有关，我们的腔室能是140mm*240mm圆柱抽到2~3pa。
不知道哪位虫友能否解释真空泵极限压力什么意思？气镇阀有什么作用？真空泵极限压强是什么条件下的压强，它与实际抽到的压强相差也太远了。
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12楼2013-08-30 16:34:44
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星星虾

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by jiart4476 at 2013-08-15 09:19:32
检查漏气有什么简单实用的方法？

小漏气的话用肥皂泡貌似很难检测出来吧……
可以试试充正压，空气或其它气体都行，再不行就弄个专业检漏的设备，
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13楼2013-08-31 22:50:38
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bryano

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

明显是使用机械泵阶段就出问题了。
1.漏气。检查阀门气密性，真空油脂多抹点。
2.腔内有水汽了？加热带烘下，或者吹风机扔进去吹吹。
还有操作问题，跟平时使用习惯有关。
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14楼2013-09-01 02:25:05
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蔚蓝枫叶885

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by jiart4476 at 2013-08-15 09:19:32
检查漏气有什么简单实用的方法？

简单点的方法就是酒精滴漏！在一个借口出，密封圈出用酒精滴漏如果真空示数变化几帕左右说明该处漏气！
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15楼2013-09-11 15:08:08
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yf19890603

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

1，检查高阀是否成功打开。
2，很有可能漏气，检测的话，先正常抽气，然后用装满酒精或丙酮的注射器，往真空腔室缝隙注射酒精，同时观察真空计数值的变化，如果气压出现明显的下降，那多半是那块有漏气孔了，得用专门的密封胶堵住。这是个细致活，能找修理师傅还是找修理师傅吧。
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16楼2013-09-12 13:10:33
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chenjiahao

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

机械泵从大气抽到5Pa，20min很正常。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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这个地方真不错
17楼2014-10-17 16:53:40
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巴巴罗萨

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by jiart4476 at 2013-08-15 09:19:32
检查漏气有什么简单实用的方法？

氦气检漏仪，在广州的话我可以帮你找一台
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18楼2014-10-19 12:26:11
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

可能有三方面的原因：1、真空泵有问题；2、管道或腔体蜜蜂有问题；3、靶材空隙率较大，包含的气体很多。
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19楼2014-10-20 17:09:55
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公子_小白龙

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

看看离子规会不会有问题？可能是离子规接触不良或者操作不当弄坏了
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jiart4476
20楼2015-03-16 18:56:13
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