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jiart4476

银虫 (正式写手)

应助: 0 (幼儿园)
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专业: 半导体材料

[求助] 磁控溅射的分子泵真空抽不上去已有6人参与

机械泵抽20分钟才抽到5帕，开分子泵后，当分子泵正常后，抽到0.3帕后就很基本不下降了，不知道是真空计、分子泵抑或其他什么问题？恳请有经验的学长指点一下？

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独立之思考，自由之精神

1楼2013-08-14 18:07:58

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巴巴罗萨

铁虫 (小有名气)

应助: 36 (小学生)
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专业: 半导体光电子器件

【答案】应助回帖

引用回帖:

7楼: Originally posted by jiart4476 at 2013-08-15 09:19:32
检查漏气有什么简单实用的方法？

氦气检漏仪，在广州的话我可以帮你找一台

18楼2014-10-19 12:26:11

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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