版块导航: 正在加载中...

客户端APP下载

登录注册

应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

jiart4476

银虫 (正式写手)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 104.7
散金: 797
红花: 3
帖子: 776
在线: 391小时
虫号: 919628
注册: 2009-12-03
性别: GG
专业: 半导体材料

[求助] 磁控溅射的分子泵真空抽不上去已有6人参与

机械泵抽20分钟才抽到5帕，开分子泵后，当分子泵正常后，抽到0.3帕后就很基本不下降了，不知道是真空计、分子泵抑或其他什么问题？恳请有经验的学长指点一下？

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

jiart4476

» 猜你喜欢

售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急已经有4人回复
售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急已经有3人回复
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急已经有6人回复
售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急已经有6人回复
售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急已经有8人回复
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急已经有8人回复
售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急已经有10人回复
2026国自然函评费到账已经有11人回复
售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急已经有3人回复
售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急已经有3人回复

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

独立之思考，自由之精神

1楼 2013-08-14 18:07:58

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

bryano

木虫 (正式写手)

应助: 51 (初中生)
金币: 1554.1
红花: 3
帖子: 588
在线: 82.4小时
虫号: 420812
注册: 2007-07-14
专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

【答案】应助回帖

明显是使用机械泵阶段就出问题了。
1.漏气。检查阀门气密性，真空油脂多抹点。
2.腔内有水汽了？加热带烘下，或者吹风机扔进去吹吹。
还有操作问题，跟平时使用习惯有关。

14楼2013-09-01 02:25:05

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

查看全部 24 个回答

255255

木虫 (正式写手)

应助: 7 (幼儿园)
金币: 2709.3
散金: 37
红花: 1
帖子: 341
在线: 130小时
虫号: 678530
注册: 2008-12-20
专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
jiart4476: 金币+2, ★有帮助 2013-08-14 19:04:50

机械泵20min才到5Pa,估计是机械泵该换油了，或者就是漏气

3楼2013-08-14 19:03:38

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

mzhuxust

木虫 (小有名气)

应助: 67 (初中生)
金币: 2630.6
红花: 8
帖子: 297
在线: 150.7小时
虫号: 2296404
注册: 2013-02-24
性别: GG
专业: 金属材料表面科学与工程

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
jiart4476(fbqrdzs代发): 金币+3, 鼓励交流 2013-08-15 08:14:11

机械泵换油，系统检漏！漏气的可能性很大！

4楼2013-08-15 00:09:20

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

hongxd

木虫 (正式写手)

应助: 3 (幼儿园)
金币: 5129.3
散金: 47
红花: 3
帖子: 376
在线: 364.2小时
虫号: 787710
注册: 2009-06-05
专业: X线与CT、电子与离子束、放

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
fbqrdzs: 金币+3, 鼓励交流 2013-08-15 08:14:19

基本是漏气，最近经常做，把腔体打开好好擦擦，不行涂点真空油脂，很管用

5楼2013-08-15 00:18:24

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

查看全部 24 个回答

最具人气热帖推荐 [查看全部]		作者	回/看	最后发表

	[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3	DpSrDtM079iu 2026-08-22	4/200	2026-08-23 01:04 by OEbVnUOu01ol
	[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3	2JOx3r2CYEgw 2026-08-22	6/300	2026-08-23 00:52 by OEbVnUOu01ol
	[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3	2JOx3r2CYEgw 2026-08-21	8/400	2026-08-23 00:28 by OEbVnUOu01ol
	[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3	QTy3jDtz1uLt 2026-08-21	8/400	2026-08-22 23:51 by OEbVnUOu01ol
	[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4	QTy3jDtz1uLt 2026-08-21	10/500	2026-08-22 23:42 by OEbVnUOu01ol
	[基金申请] 2026国自然函评费到账 +11	羊腰板 2026-08-21	11/550	2026-08-22 22:03 by lsbin3733
	[论文投稿] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3	2JOx3r2CYEgw 2026-08-22	3/150	2026-08-22 22:03 by OEbVnUOu01ol
	[基金申请] 范进中举一文的中心思想 +3	zjuhero 2026-08-22	4/200	2026-08-22 20:02 by mycsru
	[基金申请] 只有每年这种时候来逛逛小木虫 +24	yaoyewhu2008 2026-08-20	26/1300	2026-08-22 17:43 by kammury
	[基金申请] filecode，4个jtjc了 +13	ziyangfang 2026-08-19	16/800	2026-08-22 17:08 by WH3796
	[基金申请] 人气不行了 +8	fansofjerry 2026-08-21	8/400	2026-08-22 16:30 by zyqchem
	[基金申请] 今天基金会出结果吗？20260819 +16	kkkl_v 2026-08-19	17/850	2026-08-22 16:12 by 阿布Abu
	[基金申请] 时间戳今天，20号变了 +5	archvillain 2026-08-20	5/250	2026-08-22 06:12 by hui_daxiao
	[基金申请] 建议基金发布提前给出明确的时间点 +10	kulium 2026-08-21	13/650	2026-08-21 21:58 by alongwaytogo
	[基金申请] 让我中一个面上吧！ +11	大萍1987 2026-08-20	13/650	2026-08-21 14:48 by 20120902066
	[基金申请] 感觉是下周放榜了 +7	angus9576 2026-08-17	12/600	2026-08-21 13:38 by weiyin
	[论文投稿] 投稿咨询 +5	wwm09 2026-08-17	7/350	2026-08-21 10:11 by 期刊论文帮手
	[基金申请] 今天系统多次维护，明天很可能放榜！ +10	zju2000 2026-08-16	11/550	2026-08-20 20:02 by cl479861084
	[基金申请] 朋友圈看到的 +6	wangzilk 2026-08-18	8/400	2026-08-19 10:55 by Haru815
	[基金申请] 明天放榜？ +5	Shxjjxjkx 2026-08-18	5/250	2026-08-18 18:14 by -大大大大大-