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jiart4476

银虫 (正式写手)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 102.3
散金: 797
红花: 3
帖子: 774
在线: 391小时
虫号: 919628
注册: 2009-12-03
性别: GG
专业: 半导体材料

[求助] 磁控溅射的分子泵真空抽不上去已有6人参与

机械泵抽20分钟才抽到5帕，开分子泵后，当分子泵正常后，抽到0.3帕后就很基本不下降了，不知道是真空计、分子泵抑或其他什么问题？恳请有经验的学长指点一下？

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独立之思考，自由之精神

1楼2013-08-14 18:07:58

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

bryano

木虫 (正式写手)

应助: 51 (初中生)
金币: 1554.1
红花: 3
帖子: 588
在线: 82.3小时
虫号: 420812
注册: 2007-07-14
专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

【答案】应助回帖

明显是使用机械泵阶段就出问题了。
1.漏气。检查阀门气密性，真空油脂多抹点。
2.腔内有水汽了？加热带烘下，或者吹风机扔进去吹吹。
还有操作问题，跟平时使用习惯有关。

14楼2013-09-01 02:25:05

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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