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jiart4476

银虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射的分子泵真空抽不上去 已有6人参与

机械泵抽20分钟才抽到5帕,开分子泵后,当分子泵正常后,抽到0.3帕后就很基本不下降了,不知道是真空计、分子泵抑或其他什么问题?恳请有经验的学长指点一下?
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yf19890603

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

1,检查高阀是否成功打开。
2,很有可能漏气,检测的话,先正常抽气,然后用装满酒精或丙酮的注射器,往真空腔室缝隙注射酒精,同时观察真空计数值的变化,如果气压出现明显的下降,那多半是那块有漏气孔了,得用专门的密封胶堵住。这是个细致活,能找修理师傅还是找修理师傅吧。
专业维修核潜艇,核弹头翻新、改装、抛光、喷漆,回收二手航母,大修核反应堆,清洗航母油槽,航天飞机保养换三滤,高空作业擦洗卫星表面除尘,星球设计,全球海洋保 .
16楼2013-09-12 13:10:33
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255255

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与,应助指数 +1
jiart4476: 金币+2, 有帮助 2013-08-14 19:04:50
机械泵20min才到5Pa,估计是机械泵该换油了,或者就是漏气
3楼2013-08-14 19:03:38
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mzhuxust

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
jiart4476(fbqrdzs代发): 金币+3, 鼓励交流 2013-08-15 08:14:11
机械泵换油,系统检漏!漏气的可能性很大!
4楼2013-08-15 00:09:20
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hongxd

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
fbqrdzs: 金币+3, 鼓励交流 2013-08-15 08:14:19
基本是漏气,最近经常做,把腔体打开好好擦擦,不行涂点真空油脂,很管用
5楼2013-08-15 00:18:24
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